[发明专利]分散树脂及其制备方法和光阻剂组合物

权利要求书

1.一种分散树脂，其特征在于，所述分散树脂由式(2)表示：

(Z-A)_n-R_m (2)，

其中，在式(2)中，n＝1-5，m＝1-5，且n+m≤6；

Z表示H，或含有氨基、环氧基、具有1～14个碳原子的烷基、具有3～14个碳原子的环烷基或芳基取代基的丙烯酸类共聚物；

R表示C、N、CH基团、或含有2-14个碳原子的直链烷基、2-14个碳原子的脂肪环烷基、3-14个碳原子的芳基和杂芳基中的至少一种；

A由式(3)表示：

并且在式(3)中，W与Z连接，羧基与R连接，W表示H原子、具有1～14个碳原子的取代或未取代的烷基、具有2～6个碳原子的环氧烷基、具有3～14个碳原子的取代或未取代的芳基和取代或未取代的杂芳基中的至少一种。

2.根据权利要求1所述的分散树脂，其特征在于，

n＝1-3，m＝1-3，且n+m≤4，和/或

Z表示选自由甲基丙烯酸、丙烯酸、丙烯酸苄酯、苯乙烯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸异冰片酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸-8-基酯、甲基丙烯酸羟乙酯、羟丁基丙烯酸酯、氮苯基马来酰亚胺、马来酸酐、2-丙烯酸-2羟基-3-苯氧基丙酯或季戊四醇丙烯酸酯所组成的组中的一种以上化合物所形成的共聚物，和/或

W表示H、甲基、乙基、羟基取代的烷基、环氧烷基、苯基、苄基、酚基中的至少一种；

Z表示丙烯酸类共聚物的Mw为5000-10000，Pd值为2.5以下，粘度小于5000cps。

3.根据权利要求1或2所述的分散树脂，其特征在于，A表示由下列各式所表示的化合物中的至少一种：

4.一种用于制备根据权利要求1～3任意一项所述的分散树脂的中间体，其特征在于，所述中间体由式(4)表示：

(X-A)_n-R_m (4)，

其中，在式(4)中，X表示卤素；

n＝1-5，m＝1-5，且n+m≤6；

R表示C、N、CH基团、或含有2-14个碳原子的直链烷基、2-14个碳原子的脂肪环烷基、3-14个碳原子的芳基和杂芳基中的至少一种；

A由式(3)表示：

并且在式(3)中，W与X连接，羧基与R连接，W表示H原子、具有1～14个碳原子的饱和或不饱和烷基、具有2～6个碳原子的环氧基、具有3～14个碳原子的取代或未取代的芳基和取代或未取代的杂芳基中的至少一种。

5.根据权利要求4所述的中间体，其特征在于，

X为Cl、Br或I，

n＝1-3，m＝1-3，且n+m≤4，和/或

W表示H、甲基、乙基、羟基取代的烷基、环氧烷基、苯基、苄基、酚基中的至少一种。

6.根据权利要求4或5所述的中间体，其特征在于，所述中间体为以下各式所表示的化合物中的一种：

7.用于制备根据权利要求1～3任意一项所述的分散树脂的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

在自由基引发剂的作用下，将含有氨基、环氧基、具有1～14个碳原子的烷基、具有3～14个碳原子的环烷基或芳基取代基的丙烯酸类化合物加入到含链转移剂的第一溶剂中，在惰性气氛下，通过自由基溶液聚合反应，生成丙烯酸类共聚物Z；

将所获得的丙烯酸类共聚物Z与权利要求4～6任意一项所述的中间体在催化剂的存在下，在第二溶剂中进行反应，以生成分散树脂。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，

将所获得的丙烯酸类共聚物Z与所述中间体在催化剂的存在下，在第二溶剂中加热溶解回流2-5Hr之后，在70～120℃，搅拌5～12Hr进行反应，以生成所述分散树脂，和/或

所述丙烯酸类共聚物Z与所述中间体的质量比为1:1～1.5:1。