[发明专利]温控系统的控制方法、控制系统及温控系统在审
| 申请号： | 202210728034.7 | 申请日： | 2022-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN115167559A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 刘紫阳;靳李富;胡文达;李文博;芮守祯;曹小康;董春辉 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晓霞 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种温控系统的控制方法、控制系统及温控系统，温控系统的控制方法包括：获取温控系统由停机状态进入运行状态的指令；开启压缩机和循环装置；开启连接于压缩机的出口与蒸发器的吸热通路的入口之间的第一冷媒管路上的第一阀体；持续运行第一预设时间后，关闭第一阀体。可以有效防止停机时液体冷媒迁移至蒸发器和压缩机内，改善温控装置启动时的状态。同时，优化了温控系统启动时的控制逻辑，在低压侧存在大量液体制冷剂的情况下减少排气压力过高和压缩机液击的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 温控 系统 控制 方法 控制系统 | ||
【主权项】：
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