[发明专利]温控系统的控制方法、控制系统及温控系统

说明书

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种温控系统的控制方法、控制系统及温控系统，温控系统的控制方法包括：获取温控系统由停机状态进入运行状态的指令；开启压缩机和循环装置；开启连接于压缩机的出口与蒸发器的吸热通路的入口之间的第一冷媒管路上的第一阀体；持续运行第一预设时间后，关闭第一阀体。可以有效防止停机时液体冷媒迁移至蒸发器和压缩机内，改善温控装置启动时的状态。同时，优化了温控系统启动时的控制逻辑，在低压侧存在大量液体制冷剂的情况下减少排气压力过高和压缩机液击的风险。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种温控系统的控制方法、控制系统及温控系统。

背景技术

在半导体用温控装置中，刻蚀设备用温控装置均采用超高绝缘性的电子氟化液作为冷却液，此类电子氟化液导热性能较差，所以半导体制造用的温控装置设计中，通过增大蒸发器换热面积的方式提高蒸发器的换热效率。另外，为了保证持续的高精度控温和快速调温，温控装置在增大蒸发器换热面积的同时，也在温控装置运行期间控制压缩机持续运行。且温控装置的启停是由晶圆加工设备控制，当晶圆加工设备发送给温控装置停机指令后，温控装置循环系统必须立即停止运行。由于温控装置的以上特点，在温控装置从运行状态变为停机首先制冷系统从高负载状态变为停机状态，会导致较多未蒸发的制冷剂存储在蒸发器内，其次，蒸发器内循环液容量较多，停机期间循环液停止流动，所以蒸发器内部会较长时间处于低温状态，从而导致制冷系统低压侧一直处于低温低压状态，膨胀阀前后形成压差。使大量的液体制冷剂从冷凝器及储液器内迁移至蒸发器，气分及压缩机内，那么当温控装置重新启动时，在低压侧的积存的大量制冷剂液体会快速涌入压缩机内，并进入压缩结构内，导致压缩机带液压缩。这一方面会引起压缩机液击并可能损坏压缩结构件，另一方面大量液体的涌入，会引起排气管路内压力极速升高并触发高压报警。

目前，制冷领域使用的防止停机状态下制冷剂迁移的方法，一种是在压缩机进出口管路间增加一旁通电磁阀，在温度到达设定后继续运行压缩机，将冷媒积存于冷凝器，待后续需要制冷时，压缩机停机并开启膨胀阀进行控温的同时释放冷媒。另一种是采集蒸发器和冷凝器的换热介质温度，通过一定的条件判定，调节膨胀阀的开度控制冷媒的迁移。或是在压缩机与冷凝器之间，冷凝器与节流装置之间增加截止装置，使停机时截止装置关闭，冷媒无法发生迁移。或是在节流装置前后设置两路单向流动的旁通支路，根据系统运行状态控制两个支路的开启或关闭。

但上述防止冷媒迁移的方案，均无法解决蒸发器内较长时间处于低温状态的问题，停机状态下仍然会有制冷剂液体进入蒸发器及其他低压区域。同时部分方案需要在现有半导体用温控装置的结构上，额外增加硬件。另外，上述各方法主要适用于空调或热泵热水器领域，其与半导体制造用温控装置有所不同，不能够完全适用。

发明内容

本发明提供一种温控系统的控制方法、控制系统及温控系统，用以解决现有技术中温控系统中蒸发器内较长时间处于低温状态的问题，停机状态下仍然会有制冷剂进入蒸发器及其他低压区域的缺陷，实现在温控系统不增加硬件结构的前提下，可以有效防止温控系统停机时冷媒迁移至蒸发器和压缩机内，改善温控系统启动时的状态的效果。

本发明提供一种温控系统的控制方法，包括：

获取温控系统由停机状态进入运行状态的指令；

开启压缩机和循环装置；

开启连接于压缩机的出口与蒸发器的吸热通路的入口之间的第一冷媒管路上的第一阀体；

持续运行第一预设时间后，关闭第一阀体。

根据本发明提供的一种温控系统的控制方法，还包括：

获取温控系统由运行状态进入停机状态的指令；

确定温控系统未发出报警信息或温控系统发出的报警信息允许压缩机继续运行；

关闭连接于蒸发器的吸热通路与冷凝器的放热通路之间的第二冷媒管路上的第二阀体，停止循环装置的运行；