[发明专利]一种静电卡盘基板冷却孔漏气检测装置在审
| 申请号： | 202210720207.0 | 申请日： | 2022-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN115615621A | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 石锗元;陈茂雄;李君;肖伟 | 申请（专利权）人： | 君原电子科技（海宁）有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/14 | 分类号： | G01M3/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种静电卡盘基板冷却孔漏气检测装置，属于静电卡盘技术领域，包括机架，所述机架上设有第一夹持组件和第二夹持组件，所述第一夹持组件包括第一夹持件，所述第一夹持件上设有通孔，所述通孔与充气组件连通，所述第二夹持组件设置在所述第一夹持组件远离所述充气组件的一侧，所述第一夹持组件的上方设有用于刷涂静电卡盘基板侧壁的刷涂组件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 卡盘 冷却 漏气 检测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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