[发明专利]利用激光辅助制备晶圆级MEMS气体传感器的方法及其产品在审
| 申请号： | 202210713895.8 | 申请日： | 2022-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN115184407A | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 龙胡;史铁林;刘佳鑫;廖广兰;胡亚明 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 刘洋洋 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用激光辅助制备晶圆级MEMS气体传感器的方法及其产品，属于微纳传感器领域，方法在微加热器上指定区域涂覆前驱体胶体溶液，形成前驱体薄膜；一个晶圆级MEMS气体传感器上不同微加热器上涂覆的前驱体胶体溶液的成分/成分含量可以不同；对各微加热器上的前驱体薄膜进行激光扫描，扫描过程中激光局部固化前驱体胶体的同时，使金属盐发生反应生成预设形貌和孔隙率的气体敏感材料，不同微加热器上可选用不同激光参数和扫描路线，以在后续对应生成不同的气体敏感材料。本发明实现在同一个晶圆级MEMS气体传感器的不同微加热器上，生成不同形貌和孔隙率的气体敏感材料，实现晶圆级MEMS多功能气体传感器的规模化制备。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 激光 辅助 制备 晶圆级 mems 气体 传感器 方法 及其 产品 | ||
【主权项】：
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