[发明专利]一种基于UV胶微球谐振腔的压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210694814.4 | 申请日： | 2022-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN115031874A | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 邢恩博;岳军;戎佳敏;唐军;刘俊 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10 |
| 代理公司： | 太原新航路知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14112 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及谐振式压力传感器，具体是一种基于UV胶微球谐振腔的压力传感器及其制备方法。本发明解决了现有谐振式压力传感器测量精度较低的问题。一种基于UV胶微球谐振腔的压力传感器，包括玻璃基片、UV胶微球谐振腔、光纤锥、偏振控制器、宽带光源、光谱分析仪；其中，玻璃基片的表面喷涂有超疏水涂料层；UV胶微球谐振腔固定于超疏水涂料层的表面；光纤锥的锥区与UV胶微球谐振腔耦合；宽带光源的输出端通过偏振控制器与光纤锥的首端连接；光谱分析仪的输入端与光纤锥的尾端连接。本发明适用于压力的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 uv 胶微球 谐振腔 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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