[发明专利]一种基于UV胶微球谐振腔的压力传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种基于UV胶微球谐振腔的压力传感器，其特征在于：包括玻璃基片（1）、UV胶微球谐振腔（2）、光纤锥（3）、偏振控制器（4）、宽带光源（5）、光谱分析仪（6）；其中，玻璃基片（1）的表面喷涂有超疏水涂料层；UV胶微球谐振腔（2）固定于超疏水涂料层的表面；光纤锥（3）的锥区与UV胶微球谐振腔（2）耦合；宽带光源（5）的输出端通过偏振控制器（4）与光纤锥（3）的首端连接；光谱分析仪（6）的输入端与光纤锥（3）的尾端连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于UV胶微球谐振腔的压力传感器，其特征在于：所述玻璃基片（1）为石英玻璃基片，其厚度为1mm。

3.根据权利要求1所述的一种基于UV胶微球谐振腔的压力传感器，其特征在于：所述超疏水涂料层为有机氟化物涂料层，其厚度为1μm。

4.根据权利要求1所述的一种基于UV胶微球谐振腔的压力传感器，其特征在于：所述UV胶微球谐振腔（2）为65型UV胶微球谐振腔，其直径为1mm~2mm，其与超疏水涂料层的表面之间的夹角大于120°。

5.根据权利要求1所述的一种基于UV胶微球谐振腔的压力传感器，其特征在于：所述光纤锥（3）的锥区直径为1μm~2μm。

6.一种基于UV胶微球谐振腔的压力传感器的制备方法，该方法用于制备如权利要求1所述的一种基于UV胶微球谐振腔的压力传感器，其特征在于：该方法是采用如下步骤实现的：

步骤一：选取玻璃基片（1），并在玻璃基片（1）的表面喷涂形成超疏水涂料层，然后将玻璃基片（1）放置于六维位移调节台（7）上；

步骤二：用泵注射器（8）抽取UV胶，并将UV胶滴到超疏水涂料层的表面通过表面张力形成类球状体，然后用紫外灯（9）照射类球状体，使得类球状体固化成为UV胶微球谐振腔（2）；

步骤三：在UV胶微球谐振腔（2）的旁侧设置光纤锥（3），并保证光纤锥（3）的锥区与UV胶微球谐振腔（2）耦合；然后，将宽带光源（5）的输出端通过偏振控制器（4）与光纤锥（3）的首端连接，将光谱分析仪（6）的输入端与光纤锥（3）的尾端连接；

步骤四：启动宽带光源（5），宽带光源（5）发出的光依次经偏振控制器（4）、光纤锥（3）、UV胶微球谐振腔（2）、光纤锥（3）入射到光谱分析仪（6），并经光谱分析仪（6）转换为谐振谱；然后，利用六维位移调节台（7）调整UV胶微球谐振腔（2）的位置，并实时观察谐振谱；当UV胶微球谐振腔（2）与光纤锥（3）的锥区之间达到高效耦合状态时，在UV胶微球谐振腔（2）与超疏水涂料层的表面之间滴加紫外固化胶，并用紫外灯（9）照射紫外固化胶，使得紫外固化胶固化，由此使得UV胶微球谐振腔（2）固定于超疏水涂料层的表面，从而完成制备。