[发明专利]一种太阳能电池的制造方法及激光刻蚀设备

摘要

本发明公开了一种太阳能电池的制造方法及激光刻蚀设备，涉及太阳能电池技术领域，用于提升背接触电池的光电转换效率。所述制造方法包括：提供一第一基底。第一基底包括半导体基板和第一掺杂半导体材料层。半导体基板的第二面具有交替间隔设置的第一区域和第二区域、以及介于第一区域和第二区域之间的第三区域。第一掺杂半导体材料层覆盖在第二面上。利用同一激光刻蚀设备，在第一聚焦深度下至少去除第一掺杂半导体材料层位于第二区域上的部分，以及在第二聚焦深度下并在第三区域上形成相对于第一区域的表面和第二区域的表面均向内凹入的第一凹入。第二聚焦深度大于第一聚焦深度。本发明还提供了另一种太阳能电池的制造方法和一种激光刻蚀设备。