[发明专利]一种升降式氮化镓连续生长反应装置在审
| 申请号： | 202210673555.7 | 申请日： | 2022-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN115055133A | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 刘亚巍;王泓江;李斯 | 申请（专利权）人： | 安徽德徽创芯科技有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/00 | 分类号： | B01J19/00;B01J4/00;C01B21/06;H01L21/02 |
| 代理公司： | 合肥北极牛知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34239 | 代理人： | 施德祥 |
| 地址： | 233703 安徽省合肥市蚌埠市固镇*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种升降式氮化镓连续生长反应装置，涉及氮化镓技术领域，本发明包括装置底座、支撑杆，所述装置底座顶部的两端固定连接有支撑杆，所述装置底座两端的侧部固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有转动杆，在转动杆的前端固定连接有稳固板，在稳固板相对的内侧面两端固定连接有稳固钮，通过上装置筒向下移动后，活动套接在内层套接筒的侧部，从而将整个内层套接筒进行密封，避免气体向外渗出，同时通过在上装置筒顶部安装的上装置盖板的顶部设置有进料接口，而下装置筒的侧部设置有出料接口，便于在进行使用的过程中，通过进料接口向内层套接筒的内部输送物料，同时通过出料接口对物料进行卸料处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 升降 氮化 连续 生长 反应 装置 | ||
【主权项】：
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