[发明专利]一种老化试验中器件热学参数的测试方法和装置在审
| 申请号: | 202210649661.1 | 申请日: | 2022-06-10 |
| 公开(公告)号: | CN115078868A | 公开(公告)日: | 2022-09-20 |
| 发明(设计)人: | 胡世松;林曙亮;余亮 | 申请(专利权)人: | 杭州中安电子有限公司 |
| 主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00 |
| 代理公司: | 杭州浙言专利代理事务所(普通合伙) 33370 | 代理人: | 易朝晖 |
| 地址: | 311123 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本发明涉及可靠性测试技术,公开了一种老化试验中器件热学参数的测试方法和装置;包括烘箱和表征器件;热学参数测试的方法包括:环境参数的采集,环境参数包括烘箱温度Ta和表征器件的温度敏感参数vce;热学参数R1的获取,在固定条件下,通过热学参数R1与温度敏感参数vce的关系,从而获取热学参数R1;热学参数R2的获取,通过对表征器件加载高压,依据热学参数R1与漏电流Ir的关系,从而获取热学参数R2。本发明采用的测试方法进行表征器件的热学参数检测,其准确性高、成本低,效率快,同时能够在老化过程中,实时计算与判断热学参数。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 老化试验 器件 热学 参数 测试 方法 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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