[发明专利]一种老化试验中器件热学参数的测试方法和装置

权利要求书

1.一种老化试验中器件热学参数的测试方法，包括烘箱和表征器件；其特征在于，热学参数测试的方法包括：

环境参数的采集，环境参数包括烘箱温度Ta和表征器件的温度敏感参数vce；

热学参数R1的获取，在固定条件下，通过热学参数R1与温度敏感参数vce的关系，从而获取热学参数R1；

热学参数R2的获取，通过对表征器件加载高压，依据热学参数R1与漏电流Ir的关系，从而获取热学参数R2。

2.根据权利要求1所述的一种老化试验中器件热学参数的测试方法，其特征在于，热学参数R1的获取方法包括：

步骤1：将表征器件放置于烘箱内，采集烘箱温度Ta₁；

步骤2：表征器件通过n mA电流，其中n为任意数值电流值；

步骤3：按照梯度上升的方式设置烘箱温度，且使得每个温度设置后保持至少K分钟以使器件达到热稳定状态；

步骤4：获取表征器件温度敏感参数vce₁；

步骤5：对步骤4获取的温度点的实际温度Ta₁及表征器件温度敏感参数vce₁进行线性拟合，获得Ta₁与vce₁的关系，即Ta₁=F（vce₁）；

步骤6：热学参数R1的获取，R1=Ta₁=F（vce₁）。

3.根据权利要求1所述的一种老化试验中器件热学参数的测试方法，其特征在于，热学参数R2包括结到环境热阻Rth_j-a和结温参数Tj。

4.根据权利要求3所述的一种老化试验中器件热学参数的测试方法，其特征在于，对于结温参数Tj获取方法包括：

S1：将器件放置于烘箱内，采集烘箱温度Ta₂；

S2：将表征器件通过n mA电流，其中n为任意数值电流值，同时对表征器件进行加载高压电压；

S3：按照梯度上升的方式设置烘箱温度Ta₂；且使得每个温度设置后保持至少K分钟以使器件达到热稳定状态；

S4：采集每个温度点下的器件漏电流Ir₂、器件电压V₂以及器件敏感参数vce₂；

S5：对上述s4获取的每个温度点下的器件漏电流Ir₂、器件电压V₂以及器件敏感参数vce₂进行计算，根据R1与vce₂的关系计算得到结温参数Tj1，即Tj1=F（vce₂）；

同时根据公式Tj=Ta₂+Rth_j-c*V₂*Ir₂，其中，Rth_j-c为表征器件的结壳热阻，得到结温参数Tj；

S6：对步骤S5得到的结温参数Tj和结温参数Tj1进行对比，当Tj-Tj1的绝对值小于阈值A时，该表征器件测试数据满足要求执行步骤S7；否则返回至S1；

S7：在不同温度点下采集得到的结温参数Tj与Ir₂数据进行分段线性拟合或者对数拟合以得到结温参数Tj与Ir₂的关系，即Tj=Q（Ir₂）。