[发明专利]一种显示面板的制备方法在审

专利信息
申请号: 202210647916.0 申请日: 2022-06-08
公开(公告)号: CN115241127A 公开(公告)日: 2022-10-25
发明(设计)人: 林钦遵 申请(专利权)人: TCL华星光电技术有限公司
主分类号: H01L21/77 分类号: H01L21/77;H01L21/027;G03F7/26;B82Y40/00;B82Y30/00
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 孟霞
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 本申请提供一种显示面板的制备方法,显示面板的制备方法包括以下步骤:提供一衬底基板,在衬底基板上形成钝化层;在钝化层背离衬底基板的一侧形成一图案化的光阻层;在光阻层背离钝化层的一侧形成一纳米颗粒层,其中,纳米颗粒层包括多个纳米级颗粒,且任意相邻的两个纳米级颗粒之间具有间隙;以纳米级颗粒为掩膜版,对光阻层进行干蚀刻,以形成包括多个纳米级光阻柱的光阻层。本申请提供的显示面板的制备方法中,由于显示面板中的光阻层包括多个纳米级光阻柱,从而能够使光阻层具有较高的比表面积,使得后续制程中光阻剥离液和光阻层具有较大的接触面积,优化光阻剥离的效果,缩短光阻剥离的时间,提高生产效率。
搜索关键词: 一种 显示 面板 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于TCL华星光电技术有限公司,未经TCL华星光电技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202210647916.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top