[发明专利]一种远程等离子发生器及等离子清洗设备在审
| 申请号： | 202210646323.2 | 申请日： | 2022-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN114900941A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 闫占奎;石娟 | 申请（专利权）人： | 汇束显微技术（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/30 | 分类号： | H05H1/30;H05H1/26;H05H1/16;B08B7/00;G01L11/00;G01R19/00 |
| 代理公司： | 上海怡恩专利代理事务所(普通合伙) 31336 | 代理人： | 牟俊玲 |
| 地址： | 201199*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种远程等离子发生器及等离子清洗设备，属于等离子清洗技术领域。远程等离子发生器包括电磁阀、气体传输底座、等离子矩管、螺旋电磁线圈、等离子传输法兰、匹配电路网络和射频电源；等离子清洗设备包括上述的等离子发生器和真空腔。本发明集成了多路精密减压阀、压力变送器和MFC，可以调节清洗气体的压力，同时实时检测气体压力数值，不仅保证MFC对气体流量的调节精度，避免过强气体流速损伤清洗样品，而且也可实现多路混合气体组分调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 远程 等离子 发生器 清洗 设备 | ||
【主权项】：
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