[发明专利]一种远程等离子发生器及等离子清洗设备

权利要求书

1.一种远程等离子发生器，其特征在于：包括电磁阀（3-3）、气体传输底座（3-4）、等离子矩管（3-5）、螺旋电磁线圈（3-6）、等离子传输法兰（3-7）、匹配电路网络和射频电源（4）；

所述电磁阀（3-3）、气体传输底座（3-4）、等离子矩管（3-5）和等离子传输法兰（3-7）依次连通，所述螺旋电磁线圈（3-6）绕接在等离子矩管（3-5）上，所述匹配电路网络与螺旋电磁线圈（3-6）电连接、射频电源（4）电连接，用于将射频信号传输到螺旋电磁线圈（3-6）上。

2.根据权利要求1所述的一种远程等离子发生器，其特征在于：所述匹配电路网络包括调谐电感（3-8）、大量程主调谐电容（3-10）和小量程精准次调谐电容（3-11），所述调谐电感（3-8）、小量程精准次调谐电容（3-11）依次与螺旋电磁线圈（3-6）的其中一极连接，所述大量程主调谐电容（3-10）与螺旋电磁线圈（3-6）的另一极连接。

3.根据权利要求2所述的一种远程等离子发生器，其特征在于：所述匹配电路网络还设置有与调谐电感（3-8）耦合的次级线圈（3-9）。

4.根据权利要求1所述的一种远程等离子发生器，其特征在于：还包括散热装置（3-1）和前置清洗气体过滤装置（3-2），所述前置清洗气体过滤装置（3-2）设置在电磁阀（3-3）的前端。

5.根据权利要求1所述的一种远程等离子发生器，其特征在于：所述等离子矩管（3-5）的进气端为多孔状设计，构成气体分布板，所述等离子矩管（3-5）与气体传输底座（3-4）之间的腔室构成静压室。

6.一种等离子清洗设备，其特征在于：包括权利要求1所述的等离子发生器和真空腔（5-1），所述真空腔（5-1）上设置有保护气体管路、尾气排放管路和真空计（5-2）。

7.根据权利要求6所述的一种等离子清洗设备，其特征在于：所述尾气排放管路上依次设置有闸板阀（5-5）、涡轮分子泵（5-6）和前级泵（5-7）。

8.根据权利要求7所述的一种等离子清洗设备，其特征在于：所述保护气体管路和尾气排放管路之间设置有真空角阀（5-4）。

9.根据权利要求6所述的一种等离子清洗设备，其特征在于：所述等离子发生器的前端设置有减压阀（1）和质量流量计（2）。

10.根据权利要求9所述的一种等离子清洗设备，其特征在于：所述减压阀（1）上集成有压力变送器，且减压阀（1）和质量流量计（2）设置有多路。