[发明专利]一种物理气相传输法晶体生长炉、制备晶锭的方法及晶锭在审
| 申请号： | 202210600670.1 | 申请日： | 2022-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN114875481A | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 倪代秦;周振翔;魏华阳;李丹;李康;赵小玻;李勇;赵鹏;何敬晖;高崇;袁雷;陈建荣;黄存新 | 申请（专利权）人： | 中材人工晶体研究院（山东）有限公司;中材人工晶体研究院有限公司;北京中材人工晶体研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 刘继富;王春伟 |
| 地址： | 250215 山东省济南市章丘区官庄*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种物理气相传输法晶体生长炉、制备晶锭的方法及晶锭。其中，晶体生长炉包括：炉体，包括圆筒形侧壁、炉盖和炉底；位于炉体内部的保温层结构，位于保温层结构内部的加热器结构；位于加热器结构内部的坩埚，包括坩埚本体和坩埚盖；芯冷吹气系统，包括芯冷吹气埚盖、多个芯冷出气通孔、芯冷吹气管和芯冷进气嘴；多个测温点，用于监测所述晶体生长炉中的温度。本申请通过物理气相传输法生长晶体，然后经退火处理得到晶锭。退火处理过程中通过芯冷吹气系统向晶锭的芯部吹气，始终让晶锭芯部的温度小于等于晶锭外表面的温度，实现了径向温度分布反转，改善晶锭退火处理过程中由于应力累积导致的晶锭开裂问题，从而提高了晶锭的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物理 相传 晶体生长 制备 方法 | ||
【主权项】：
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