[发明专利]射频电源及其冷却控制方法在审
| 申请号： | 202210599355.1 | 申请日： | 2022-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN114980677A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 李加波;陈虹;贾文华;李光健 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H05K7/20 | 分类号： | H05K7/20 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种射频电源及其冷却控制方法，包括电源组件、冷却装置和控制装置，冷却装置包括流体通路和设置在流体通路上的调节阀，控制装置用于在电源组件为运行状态时根据冷却装置的温度检测值与预设目标温度之间的第一温度差值以及电源组件的当前功率与上一检测周期的功率之间的功率差值，对调节阀的开启程度进行调节；以及，在电源组件为非运行状态时，在出水温度高于出水温度阈值时降低冷却装置的可调目标温度，否则在入水温度低于或等于结露温度时提高可调目标温度；再对调节阀的开启程度进行调节，以使冷却装置的温度检测值趋近于可调目标温度。本发明的射频电源能够提高电源组件温度的稳定性并避免过热或结露。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 电源 及其 冷却 控制 方法 | ||
【主权项】：
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