[发明专利]射频电源及其冷却控制方法

权利要求书

1.一种射频电源，其特征在于，所述射频电源包括电源组件、冷却装置和控制装置，所述冷却装置包括流体通路和设置在所述流体通路上的调节阀，所述流体通路用于与冷源连接，以使所述冷源提供的冷却液在所述流体通路中流动并吸收所述电源组件产生的热量，所述调节阀用于调节所述流体通路中所述冷却液的流量，所述控制装置用于在所述电源组件为运行状态时，周期性地检测所述冷却装置的温度以及所述电源组件的功率；根据所述冷却装置的温度检测值与预设目标温度之间的第一温度差值以及所述电源组件的当前功率与上一检测周期所述电源组件的功率之间的功率差值，确定所述调节阀开启程度的第一调节量，并根据所述第一调节量对所述调节阀的开启程度进行调节；其中，所述第一调节量随所述第一温度差值以及所述功率差值的增大而增大，随所述第一温度差值以及所述功率差值的减小而减小；

以及，在所述电源组件为非运行状态时，周期性地检测所述冷却装置的出水温度、入水温度以及所述冷却装置所在环境的环境湿度；在所述出水温度高于出水温度阈值时，降低所述冷却装置的可调目标温度，在所述出水温度低于或等于所述出水温度阈值时，根据所述环境湿度确定结露温度，并在所述入水温度低于或等于所述结露温度时提高所述冷却装置的可调目标温度；再根据所述冷却装置的温度检测值与可调目标温度之间的第二温度差值，对所述调节阀的开启程度进行调节，以使所述冷却装置的温度检测值趋近于所述可调目标温度。

2.根据权利要求1所述的射频电源，其特征在于，所述射频电源还包括第一温度传感器、温度采集电路、功率传感器和功率采集电路，所述第一温度传感器用于检测所述冷却装置的温度，所述功率传感器用于检测所述电源组件的功率；所述控制装置用于通过所述温度采集电路接收所述第一温度传感器的检测结果，并通过所述功率采集电路接收所述功率传感器的检测结果；

所述射频电源还包括第二温度传感器、第三温度传感器、湿度传感器和湿度采集电路，所述第二温度传感器用于检测所述冷却装置中流体通路入水端的入水温度，所述第三温度传感器用于检测所述冷却装置中流体通路出水端的出水温度，所述湿度传感器用于检测所述射频电源内部的环境湿度；所述控制装置还用于通过所述温度采集电路接收所述第二温度传感器和所述第三温度传感器的检测结果，并通过所述湿度采集电路接收所述湿度传感器的检测结果。

3.根据权利要求1所述的射频电源，其特征在于，所述射频电源还包括驱动电路，所述控制装置用于控制所述驱动电路对所述调节阀的开启程度进行调节。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的射频电源，其特征在于，所述控制装置预存有所述环境湿度与所述结露温度之间的对照表，所述控制装置具体用于基于预存的所述对照表，确定当前所述环境湿度对应的所述结露温度。

5.一种冷却控制方法，应用于权利要求1至4中任意一项所述的射频电源中，所述方法包括：

在所述电源组件为运行状态时，周期性地检测所述冷却装置的温度以及所述电源组件的功率；

根据所述冷却装置的温度检测值与预设目标温度之间的第一温度差值以及所述电源组件的当前功率与上一检测周期所述电源组件的功率之间的功率差值，确定所述调节阀开启程度的第一调节量，其中，所述第一调节量随所述第一温度差值以及所述功率差值的增大而增大，随所述第一温度差值以及所述功率差值的减小而减小；

根据所述第一调节量对所述调节阀的开启程度进行调节；以及

在所述电源组件为非运行状态时，周期性地检测所述冷却装置的出水温度、入水温度以及所述冷却装置所在环境的环境湿度；

若所述出水温度高于出水温度阈值，则降低所述冷却装置的可调目标温度，若所述出水温度低于或等于所述出水温度阈值，则根据所述环境湿度确定结露温度，并在所述入水温度低于或等于所述结露温度时，提高所述冷却装置的可调目标温度；

根据所述冷却装置的温度检测值与可调目标温度之间的第二温度差值，对所述调节阀的开启程度进行调节，以使所述冷却装置的温度检测值趋近于所述可调目标温度。