[发明专利]氮化硅微晶板及其生产工艺在审
| 申请号： | 202210596507.2 | 申请日： | 2022-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN115368143A | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 徐德军;沈韦;吴明 | 申请（专利权）人： | 宜兴市拓邦耐火科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/584 | 分类号： | C04B35/584;C04B35/622 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214200 江苏省无锡市宜*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供氮化硅微晶板及其生产工艺，涉及氮化硅微晶板生产工艺技术领域。该氮化硅微晶板及其生产工艺，其组成为含S i C98％的粗、中、细颗粒S i C和含S i大于98％，颗粒小于10μm，且颗粒最大不大于20μm的工业硅粉为原料，包括以下步骤：S1.准备好含S i C98％的粗、中、细颗粒S i C和含S i大于98％,颗粒小于10μm，且颗粒最大不大于20μm的工业硅粉，进行配料，得到混料。通过控制氮化硅微晶板生产所需的原材料的基础上、严格把控氮化硅微晶板从配料、混料、成型、干燥、烧成和检测的每一个生产工艺流程，既缩减了其烧结的难度，也极大避免生产工艺中存在的不稳定变量因素，有利于提高增产效益和节能降耗效益。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 硅微晶板 及其 生产工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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