[发明专利]一种加热器及其工作方法在审
| 申请号： | 202210588592.8 | 申请日： | 2022-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN115044966A | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 宋少杰;宋振亮 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B15/20;C30B30/04;C30B27/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 沈寒酉;侯丽丽 |
| 地址： | 710100 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种在拉晶过程中使用的加热器，所述加热器包括：端子，所述端子设置成能够经由所述端子向所述加热器供电；圆筒形的主体，所述主体形成为能够设置在用于容纳多晶硅原料的坩埚的周向外部，其中，所述主体的周向壁设置成能够提供与施加于所述坩埚的磁场相适配的热场，以使得由所述多晶硅原料拉制成的单晶硅棒具有期望的氧浓度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热器 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
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