[发明专利]一种气相沉积炉用产品成像控制装置及控制方法在审
| 申请号： | 202210585740.0 | 申请日： | 2022-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN114963984A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 史文;幸刚;付江;肖如飞;高俊 | 申请（专利权）人： | 江油神光石英科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;C23C16/52 |
| 代理公司： | 成都欣圣知识产权代理有限公司 51292 | 代理人： | 陈家强 |
| 地址： | 621701 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种气相沉积炉用产品成像控制装置及控制方法，产品成像控制装置包括：激光测量窗口开设在气相沉积炉的侧壁；激光测量装置的激光发射口与激光测量窗口相对设置，以采集气相沉积炉内的产品数据；升降装置与激光测量装置连接；数据成像装置用于根据激光测量装置采集的产品数据进行图形成像；PLC控制模块分别与激光测量装置、升降装置和数据成像装置连接。本发明通过激光测量装置能够对气相沉积炉内的产品进行准确测量，得到实时的具体测量数据，从而可以随之调整工艺，稳定工艺，进而提高产品的成品率，具有误差小、可靠性高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 产品 成像 控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
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