[发明专利]一种气相沉积炉用产品成像控制装置及控制方法

权利要求书

1.一种气相沉积炉用产品成像控制装置，其特征在于，包括：

激光测量窗口，用于开设在气相沉积炉的侧壁；

激光测量装置，其激光发射口与所述激光测量窗口相对设置，以采集所述气相沉积炉内的产品数据；

升降装置，与所述激光测量装置连接，以驱动所述激光测量装置升降；

数据成像装置，用于根据所述激光测量装置采集的产品数据进行图形成像；以及

PLC控制模块，分别与所述激光测量装置、所述升降装置和所述数据成像装置连接，以控制所述激光测量装置采集产品数据，向所述数据成像装置传输所述激光测量装置采集的产品数据，并控制所述升降装置驱动所述激光测量装置升降。

2.根据权利要求1所述的气相沉积炉用产品成像控制装置，其特征在于，所述激光测量窗口由多层石英玻璃构成，且最外层设有高温密封胶层。

3.根据权利要求2所述的气相沉积炉用产品成像控制装置，其特征在于，相邻层的石英玻璃之间填充有隔热棉。

4.根据权利要求2所述的气相沉积炉用产品成像控制装置，其特征在于，所述激光测量窗口配置有可调节压力的氮气供给装置，所述氮气供给装置设有伸向所述激光测量窗口的氮气吹扫管。

5.根据权利要求1所述的气相沉积炉用产品成像控制装置，其特征在于，所述PLC控制模块包括PLC芯片和AC/DC转换器，所述升降装置包括伺服驱动器、伺服控制器和伺服电机，所述PLC芯片的信号输出端与所述伺服驱动器连接，所述AC/DC转换器与所述伺服控制器连接，所述伺服控制器与所述PLC芯片的信号输入端连接。

6.一种气相沉积炉用产品成像控制方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S1.采集气相沉积炉内的产品数据；

步骤S2.基于采集的产品数据进行产品的图形成像显示；

步骤S3.将采集的产品数据中的产品的当前直径值d，与产品的预设直径值dy进行比较；

步骤S4.当d＞dy时，将气相沉积炉的用于控制温度的上风阀和下风阀的开度调小至50%，若上风阀和下风阀的当前开度值小于等于50%，则将上风阀的开度调至当前开度值的二分之一，将下风阀的开度调至当前开度值的三分之一；

当d＜dy时，将上风阀和下风阀的开度调大至60%，若上风阀和下风阀的当前开度值大于等于50%，则将上风阀和下风阀的开度调至100%；

步骤S5.重复步骤S1至步骤S4，直至产品完全成型。

7.根据权利要求6所述的气相沉积炉用产品成像控制方法，其特征在于，步骤S1中，使用激光测量装置采集气相沉积炉内的产品数据。

8.根据权利要求7所述的气相沉积炉用产品成像控制方法，其特征在于，步骤S1中，在生产前，基于产品的生长零点，使用升降装置驱动激光测量装置升降；以及在生产过程中，基于采集的产品数据中的产品的生长高度，使用升降装置驱动激光测量装置升降，以通过位于不同高度的激光测量装置进行产品数据采集。

9.根据权利要求8所述的气相沉积炉用产品成像控制方法，其特征在于，步骤S2中，基于采集的产品数据，使用数据成像装置进行产品的图形成像显示。

10.根据权利要求9所述的气相沉积炉用产品成像控制方法，其特征在于，步骤S4中，当dy＜d＜1.1dy时，若上风阀和下风阀的当前开度值大于50%，则将上风阀和下风阀的开度调小至50%，若上风阀和下风阀的当前开度值小于等于50%，则将上风阀的开度调至当前开度值的二分之一，将下风阀的开度调至当前开度值的三分之一，气相沉积炉的当前温度值T调整至预设温度值Ty与2（d-dy）/10℃的差值；

当d＞1.1dy时，若上风阀和下风阀的当前开度值大于50%，则将上风阀和下风阀的开度调小至30%，若上风阀和下风阀的当前开度值小于等于50%，则将上风阀的开度调至当前开度值的二分之一，将下风阀的开度调至0，当前温度值T调整至预设温度值Ty与（d-1.1dy）/5℃的差值；

当0.9dy＜d＜dy时，若上风阀和下风阀的当前开度值小于50%，则将上风阀和下风阀的开度调大至60%，若上风阀和下风阀的当前开度值大于等于50%，则将上风阀和下风阀的开度调至100%，当前温度值T调整至预设温度值Ty与0.8（dy-d）/10℃的和值；

当d＜0.9dy时，将下风阀的开度调大至100%，若上风阀的当前开度值小于50%，则将上风阀的开度调大至60%，若上风阀的当前开度值大于等于50%，则将上风阀的开度调至100%，当前温度值T调整至预设温度值Ty与（dy-d）/10℃的和值。