[发明专利]一种气相沉积炉用产品成像控制装置及控制方法

说明书

本发明提供了一种气相沉积炉用产品成像控制装置及控制方法，产品成像控制装置包括：激光测量窗口开设在气相沉积炉的侧壁；激光测量装置的激光发射口与激光测量窗口相对设置，以采集气相沉积炉内的产品数据；升降装置与激光测量装置连接；数据成像装置用于根据激光测量装置采集的产品数据进行图形成像；PLC控制模块分别与激光测量装置、升降装置和数据成像装置连接。本发明通过激光测量装置能够对气相沉积炉内的产品进行准确测量，得到实时的具体测量数据，从而可以随之调整工艺，稳定工艺，进而提高产品的成品率，具有误差小、可靠性高的特点。

技术领域

本发明涉及气相沉积炉技术领域，具体涉及一种气相沉积炉用产品成像控制装置及控制方法。

背景技术

目前，气相沉积炉内的产品由于高温、强热辐射、炉体需隔热保温等原因，导致难以观察产品，行业内通过人工和半自动的方式进行观察，这种方式误差大、可靠性不够，无法得到实时的具体测量数据，从而导致工艺不稳定，产品的成品率低下。因此，有必要提供一种气相沉积炉用产品成像控制装置及控制方法。

发明内容

本发明提供了一种气相沉积炉用产品成像控制装置及控制方法，以提高产品的成品率。

为实现上述目的，本发明一方面公开了一种气相沉积炉用产品成像控制装置，包括：激光测量窗口，用于开设在气相沉积炉的侧壁；激光测量装置，其激光发射口与所述激光测量窗口相对设置，以采集所述气相沉积炉内的产品数据；升降装置，与所述激光测量装置连接，以驱动所述激光测量装置升降；数据成像装置，用于根据所述激光测量装置采集的产品数据进行图形成像；以及PLC控制模块，分别与所述激光测量装置、所述升降装置和所述数据成像装置连接，以控制所述激光测量装置采集产品数据，向所述数据成像装置传输所述激光测量装置采集的产品数据，并控制所述升降装置驱动所述激光测量装置升降。

本发明公开的一个实施例中，所述激光测量窗口由多层石英玻璃构成，且最外层设有高温密封胶层。

本发明公开的一个实施例中，相邻层的石英玻璃之间填充有隔热棉。

本发明公开的一个实施例中，所述激光测量窗口配置有可调节压力的氮气供给装置，所述氮气供给装置设有伸向所述激光测量窗口的氮气吹扫管。

本发明公开的一个实施例中，所述PLC控制模块包括PLC芯片和AC/DC转换器，所述升降装置包括伺服驱动器、伺服控制器和伺服电机，所述PLC芯片的信号输出端与所述伺服驱动器连接，所述AC/DC转换器与所述伺服控制器连接，所述伺服控制器与所述PLC芯片的信号输入端连接。

本发明另一方面公开了一种气相沉积炉用产品成像控制方法，包括如下步骤：

步骤S1.采集气相沉积炉内的产品数据；

步骤S2.基于采集的产品数据进行产品的图形成像显示；

步骤S3.将采集的产品数据中的产品的当前直径值d，与产品的预设直径值dy进行比较；

步骤S4.当d＞dy时，将气相沉积炉的用于控制温度的上风阀和下风阀的开度调小至50%，若上风阀和下风阀的当前开度值小于等于50%，则将上风阀的开度调至当前开度值的二分之一，将下风阀的开度调至当前开度值的三分之一；

当d＜dy时，将上风阀和下风阀的开度调大至60%，若上风阀和下风阀的当前开度值大于等于50%，则将上风阀和下风阀的开度调至100%；

步骤S5.重复步骤S1至步骤S4，直至产品完全成型。

本发明公开的一个实施例中，步骤S1中，使用激光测量装置采集气相沉积炉内的产品数据。

本发明公开的一个实施例中，步骤S1中，在生产前，基于产品的生长零点，使用升降装置驱动激光测量装置升降；以及在生产过程中，基于采集的产品数据中的产品的生长高度，使用升降装置驱动激光测量装置升降，以通过位于不同高度的激光测量装置进行产品数据采集。