[发明专利]一种驱动背板、显示面板及驱动背板的制造方法在审

专利信息
申请号: 202210583098.2 申请日: 2022-05-26
公开(公告)号: CN115000086A 公开(公告)日: 2022-09-02
发明(设计)人: 杨维;曲燕;王利忠;周天民 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77
代理公司: 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 代理人: 查薇
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种驱动背板、显示面板及驱动背板的制造方法,其中,驱动背板包括:第一绝缘层,设置在低温多晶硅半导体层和氧化物半导体层远离衬底基板的一侧;穿透第一绝缘层的接触孔包括:第一过孔和第二过孔,第一过孔延伸至低温多晶硅半导体层远离基板的一侧;第二过孔延伸至氧化物半导体层远离基板的一侧;氧化物半导体层对应于第二过孔的位置设置有连接孔;设置在第一过孔中的第一电极结构与低温多晶硅半导体层接触;设置在第二过孔和连接孔中的第二电极结构在连接孔中与氧化物半导体层形成侧面接触。制造本发明的驱动背板时可减少图形化掩膜工艺步骤,降低工艺成本。
搜索关键词: 一种 驱动 背板 显示 面板 制造 方法
【主权项】:
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