[发明专利]一种高效的研磨液及其制备方法和应用在审

专利信息
申请号: 202210580883.2 申请日: 2022-05-26
公开(公告)号: CN114958302A 公开(公告)日: 2022-08-30
发明(设计)人: 邓中华;郑连彬 申请(专利权)人: 珠海戴蒙斯科技有限公司
主分类号: C09K3/14 分类号: C09K3/14
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 林坤华
地址: 519000 广东省珠海市斗门*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明属于研磨液技术领域,提供了一种高效的研磨液及其制备方法和应用,本发明通过采用含有多元醇的主溶剂、阳离子化合物作为研磨液的主要液体组分,借助同性电荷之间的斥力提高磨料间的排斥力的效果,改善磨料的分散效果,工作时,有助于提升磨粒在体系中的作用时间,本发明的研磨液的研磨效率高,本发明的材料移除量相对于常规的研磨液体系提升至少18.78%,且可以保证表面粗糙度在15‑25nm的纳米级范围内,本发明先将主溶剂的pH值调节至4‑8,然后依次加入阳离子化合物和磨料制得研磨液,本发明的制备方法简便易操作,所制得的研磨液均匀稳定。
搜索关键词: 一种 高效 研磨 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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