[发明专利]一种高效的研磨液及其制备方法和应用在审
申请号: | 202210580883.2 | 申请日: | 2022-05-26 |
公开(公告)号: | CN114958302A | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 邓中华;郑连彬 | 申请(专利权)人: | 珠海戴蒙斯科技有限公司 |
主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 林坤华 |
地址: | 519000 广东省珠海市斗门*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明属于研磨液技术领域,提供了一种高效的研磨液及其制备方法和应用,本发明通过采用含有多元醇的主溶剂、阳离子化合物作为研磨液的主要液体组分,借助同性电荷之间的斥力提高磨料间的排斥力的效果,改善磨料的分散效果,工作时,有助于提升磨粒在体系中的作用时间,本发明的研磨液的研磨效率高,本发明的材料移除量相对于常规的研磨液体系提升至少18.78%,且可以保证表面粗糙度在15‑25nm的纳米级范围内,本发明先将主溶剂的pH值调节至4‑8,然后依次加入阳离子化合物和磨料制得研磨液,本发明的制备方法简便易操作,所制得的研磨液均匀稳定。 | ||
搜索关键词: | 一种 高效 研磨 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
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