[发明专利]抛光系统、抛光垫以及半导体器件的制造方法在审
| 申请号： | 202210578502.7 | 申请日： | 2022-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN115401601A | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 安宰仁;金京焕;马圣欢;徐章源 | 申请（专利权）人： | SKC索密思株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/22 | 分类号： | B24B37/22;B24B37/24;B24B37/10;H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 赵瑞 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及抛光系统、抛光垫以及半导体器件的制造方法。涉及一种抛光系统和应用该抛光系统的半导体器件的制造方法，该抛光系统最大化抛光垫附着并拆卸于平板的准确性和容易性，包括在上部安装有抛光垫的平板和安装到所述平板上的抛光垫，所述抛光垫包括抛光面和作为所述抛光面的相反面的平板附着面，所述平板附着面包括至少一个阴刻部，所述平板包括至少一个阳刻部，并且所述阳刻部和所述阴刻部为相互互补结合结构。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 系统 以及 半导体器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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