[发明专利]一种高纯铜靶材及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 202210574420.5 | 申请日： | 2022-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN114892135B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;周友平;余婷;陈勇军 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/08;B21J5/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 韩承志 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高纯铜靶材及其制备方法与应用，将高纯铜锭依次经过第一热锻、第一热处理、第二热锻、第二热处理、静压和冷轧，得到了未完全再结晶的高纯铜靶材；通过第一热锻和第二热锻使得晶粒细化，通过控制第一热处理和第二热处理的温度，达到调控高纯铜靶材再结晶度的目的，使得高纯铜靶材的再结晶度控制在20‑40％；操作简便，易工业化；制得的高纯铜靶材纯度高，内部组织均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 铜靶材 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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