[发明专利]一种温场均匀的碳化硅立式合成炉有效
| 申请号： | 202210561656.5 | 申请日： | 2022-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN114920246B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 王人松;高树良;胡动力;廖亚 | 申请（专利权）人： | 连城凯克斯科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/984 | 分类号： | C01B32/984 |
| 代理公司： | 无锡亿联盛知识产权代理有限公司 32625 | 代理人： | 李晶晶 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于碳化硅合成领域，具体的说是一种温场均匀的碳化硅立式合成炉，包括石墨坩埚；所述石墨坩埚的侧壁安装有外壳；所述外壳的内部固接有电推杆；所述电推杆的输出端固接有支撑架；通过设置的环绕线圈连接中频感应电源供电，实现环绕线圈感应加热线圈的功率调整，配合电推杆带动上下滑动对石墨坩埚的侧壁加热，起到对外壳内部温场控制均衡的作用，并且依靠在环绕线圈的表面涂覆耐热涂层，并包裹环绕线圈，降低高温对环绕线圈的灼伤，同时利用温度传感器对外壳内部温度监测，温度过高时使警报灯发出警报，提醒工人打开密封塞使外壳内部快速散热，把控温场的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 均匀 碳化硅 立式 合成 | ||
【主权项】：
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