[发明专利]一种温场均匀的碳化硅立式合成炉

权利要求书

1.一种温场均匀的碳化硅立式合成炉，其特征在于：包括石墨坩埚(1)；所述石墨坩埚(1)的侧壁安装有外壳(11)；所述外壳(11)的内部固接有电推杆(12)；所述电推杆(12)的输出端固接有支撑架(13)；所述支撑架(13)的端部固接有多组环绕线圈(14)；所述环绕线圈(14)套在石墨坩埚(1)的侧部位置；所述环绕线圈(14)的侧壁连接有中频感应电源；所述环绕线圈(14)的侧壁固接有伸缩杆(15)，且伸缩杆(15)固接在外壳(11)的内部；

所述外壳(11)的内侧壁固接有进水管(4)；所述进水管(4)的侧壁固接有一号拼接块(41)；所述一号拼接块(41)的侧部设置有二号拼接块(42)；所述一号拼接块(41)的侧壁设置有拼接组件，拼接组件用于一号拼接块(41)和二号拼接块(42)拼接使用；所述二号拼接块(42)的侧壁固接有环绕水管(43)，且环绕水管(43)环绕在石墨坩埚(1)的侧壁；所述环绕水管(43)的侧壁固接有出水管(44)；

所述一号拼接块(41)的内侧壁插接有滤网板(6)；所述滤网板(6)的形状呈半弧形，且两端垂直设置；所述滤网板(6)的侧壁设置有收集凹槽；所述滤网板(6)的内侧壁通过扭簧转动连接有挡板(61)；所述一号拼接块(41)的内部设置有固定组件，固定组件用于对滤网板(6)限位连接使用；

所述二号拼接块(42)的内侧壁固接有限位板(8)；所述二号拼接块(42)的内侧壁通过扭簧转动连接有转动板(81)；所述转动板(81)的侧壁固接有橡胶块(82)；所述橡胶块(82)的形状呈山字形，且两侧对称设置有支杆；所述橡胶块(82)的侧壁固接有撞击球(83)；所述转动板(81)的侧壁固接有弹性柱(84)；

所述撞击球(83)的内部固接有一号磁性件(9)；所述滤网板(6)的侧壁固接有二号磁性件(91)；所述一号磁性件(9)与二号磁性件(91)相互靠近时能够异性相吸。

2.根据权利要求1所述的一种温场均匀的碳化硅立式合成炉，其特征在于：所述环绕线圈(14)的表面涂有耐热涂层(2)；所述耐热涂层(2)为磷酸盐铅粉涂料设计；所述环绕线圈(14)的表面包覆有隔热棉套(21)。

3.根据权利要求1所述的一种温场均匀的碳化硅立式合成炉，其特征在于：所述外壳(11)的内侧壁固接有温度传感器(3)；所述外壳(11)的端部固接有警报灯(31)，且警报灯(31)通过信号线与温度传感器(3)连接；所述外壳(11)的侧壁开设有两组通风口；所述外壳(11)的侧壁固接有两组通风管(32)，且位于通风口处；所述通风管(32)的内侧壁安装有密封塞(33)。

4.根据权利要求1所述的一种温场均匀的碳化硅立式合成炉，其特征在于：所述拼接组件包括限位插销(5)、限位滑块(51)和一号弹性件(52)；所述限位插销(5)固接在一号拼接块(41)的侧壁；所述限位滑块(51)滑动连接在限位插销(5)的内侧壁；所述一号弹性件(52)固接在限位滑块(51)的侧壁，且一号弹性件(52)固接限位插销(5)的内侧壁。

5.根据权利要求1所述的一种温场均匀的碳化硅立式合成炉，其特征在于：所述固定组件包括滑动插杆(7)、二号弹性件(71)和密封垫(72)；所述滑动插杆(7)滑动连接在一号拼接块(41)的内侧壁；所述二号弹性件(71)套接在滑动插杆(7)的侧壁；所述滑动插杆(7)的端部固接有密封垫(72)；所述滤网板(6)的侧壁开设有多组孔洞，且与滑动插杆(7)相对应。

6.根据权利要求1所述的一种温场均匀的碳化硅立式合成炉，其特征在于：所述撞击球(83)的侧壁套接有摩擦垫(92)；所述摩擦垫(92)的形状呈半圆弧状。