[发明专利]一种体声波谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210553350.5 | 申请日： | 2022-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN114900151A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 邹杨;蔡耀;詹道栋;王雅馨;龙开祥;孙博文;孙成亮 | 申请（专利权）人： | 武汉敏声新技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 崔熠 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种体声波谐振器及其制备方法，涉及谐振器技术领域，本申请的体声波谐振器的制备方法，包括：在晶圆基底上形成压电薄膜层；在压电薄膜层上形成下电极，下电极的边缘通过连接段形成有第一平行翼，第一平行翼与压电薄膜层之间具有间隙；在形成下电极的压电薄膜层上形成支撑件，支撑件与压电薄膜层之间形成空腔，空腔与间隙连通；晶圆基底与衬底通过支撑件键合并去除晶圆基底；在压电薄膜层上形成上电极，上电极的边缘通过连接段连接形成有第二平行翼，上电极、压电薄膜层、下电极以及空腔在衬底上的投影具有重叠的有效谐振区域。本申请的体声波谐振器及其制备方法，能够有效反射横向波，提高体声波谐振器的Q值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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