[发明专利]一种体声波谐振器及其制备方法

权利要求书

1.一种体声波谐振器的制备方法，其特征在于，包括：

在晶圆基底上形成压电薄膜层；

在所述压电薄膜层上形成下电极，所述下电极在所述晶圆基底上的投影的一侧边缘与所述压电薄膜层在所述晶圆基底上的投影的一侧边缘平齐，所述下电极的投影在所述压电薄膜层的投影范围内，所述下电极的边缘通过连接段连接形成有第一平行翼，所述第一平行翼与所述压电薄膜层之间具有间隙；

在形成有所述下电极的所述压电薄膜层上形成支撑件，所述支撑件与所述压电薄膜层形成有空腔，所述空腔与所述间隙连通；

所述晶圆基底与衬底通过所述支撑件键合并去除所述晶圆基底；

在所述压电薄膜层上形成上电极，所述上电极在所述衬底上的投影的一侧边缘与压电薄膜层在所述衬底上的投影的另一侧边缘平齐，所述上电极的投影在所述压电薄膜层的投影范围内，上电极的边缘通过连接段连接形成有第二平行翼，所述第二平行翼与所述压电薄膜层之间具有间隙，所述上电极、所述压电薄膜层、所述下电极以及所述空腔在所述衬底上的投影具有重叠的有效谐振区域。

2.根据权利要求1所述的体声波谐振器的制备方法，其特征在于，在所述压电薄膜层上形成下电极，所述下电极在所述晶圆基底上的投影的一侧边缘与所述压电薄膜层在所述晶圆基底上的投影的一侧边缘平齐，所述下电极的投影在所述压电薄膜层的投影范围内，所述下电极的边缘通过连接段连接形成有第一平行翼，所述第一平行翼与所述压电薄膜层之间具有间隙之后，所述方法还包括：

在所述下电极上形成下边界环，所述下边界环覆盖所述第一平行翼。

3.根据权利要求1所述的体声波谐振器的制备方法，其特征在于，在所述压电薄膜层上形成上电极，所述上电极在所述衬底上的投影的一侧边缘与压电薄膜层在所述衬底上的投影的另一侧边缘平齐，所述上电极的投影在所述压电薄膜层的投影范围内，上电极的边缘通过连接段连接形成有第二平行翼，所述第二平行翼与所述压电薄膜层之间具有间隙，所述上电极、所述压电薄膜层、所述下电极以及所述空腔在所述衬底上的投影具有重叠的有效谐振区域之后，所述方法还包括：

在所述上电极上形成上边界环，所述上边界环覆盖所述第二平行翼。

4.根据权利要求2所述的体声波谐振器的制备方法，其特征在于，在所述压电薄膜层上形成下电极，所述下电极在所述晶圆基底上的投影的一侧边缘与所述压电薄膜层在所述晶圆基底上的投影的一侧边缘平齐，所述下电极的投影在所述压电薄膜层的投影范围内，所述下电极的边缘通过连接段连接形成有第一平行翼，所述第一平行翼与所述压电薄膜层之间具有间隙包括：

在所述压电薄膜层上形成第一牺牲凸起；

在形成有所述第一牺牲凸起的所述压电薄膜层上沉积导电材料并图案化，沉积在所述第一牺牲凸起上表面的导电材料作为第一平行翼，沉积在所述压电薄膜层上的导电材料作为下电极；

释放所述第一牺牲凸起以使所述第一平行翼与所述压电薄膜层之间形成间隙。

5.根据权利要求4所述的体声波谐振器的制备方法，其特征在于，所述在形成有所述下电极的所述压电薄膜层上形成支撑件，所述支撑件与所述压电薄膜层之间形成有空腔，所述空腔与所述间隙连通包括：

在形成有所述下电极的所述压电薄膜层上形成牺牲层，所述牺牲层覆盖所述下边界环、所述第一平行翼；

在形成有所述牺牲层的所述压电薄膜层上形成支撑件；

释放所述牺牲层和所述第一牺牲凸起形成所述空腔。