[发明专利]供存储库与OHT交换晶圆盒的运输装置、天车窗口及存储库有效
| 申请号： | 202210545084.1 | 申请日： | 2022-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN114649250B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 成龙;祝强强;缪峰 | 申请（专利权）人： | 弥费实业（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人： | 黎飞鸿;郑纯 |
| 地址： | 200131 上海市浦东新区中国（上海）*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种供存储库与OHT交换晶圆盒的运输装置、天车窗口及存储库，应用于半导体制造设备技术领域，其中运输装置包括：安装于所述交换运输通道的底部上的第一移动机构；连接于所述第一移动机构上的第二移动机构；连接于所述第二移动机构上的托盘；用于控制所述第一移动机构和所述第二移动机构的控制机构。通过优化改进运输装置，便于在工厂中部署该运输装置，以供晶圆盒存储库与空中运输车之间交换晶圆盒。 | ||
| 搜索关键词： | 存储 oht 交换 晶圆盒 运输 装置 天车 窗口 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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