[发明专利]一种DI光刻机系统有效
| 申请号： | 202210537206.2 | 申请日： | 2022-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN114706280B | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 王华;陈志特;吴中海;甘泉 | 申请（专利权）人： | 广东科视光学技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙) 44604 | 代理人： | 王晓艳 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种DI光刻机系统，涉及到光刻机领域，包括光源模块、反射模块、透镜模块、驱动模块和平台模块；光源模块包括成对设置的激光源；反射模块包括与每一个激光源对应的反射面，激光源的出射激光经过对应的反射面反射后沿竖直向下的方向出射；透镜模块包括与每一个反射面对应设置的特殊透镜；特殊透镜设置在对应的反射面下方；驱动模块包括与特殊透镜对应的驱动件，用于驱动特殊透镜绕对应的空间轴转动；平台模块包括运动平台，运动平台设置在特殊透镜下方，运动平台具有平动自由度。该DI光刻机系统引入成对设置的激光源并通过特殊透镜对出射激光进行汇聚和改变其焦点位置，可降低光刻机的制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 di 光刻 系统 | ||
【主权项】：
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