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- [发明专利]光刻镜头-CN202311053276.1在审
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陈志特;吴中海;王重桂;王华
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东莞锐视光电科技有限公司
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2023-08-21
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2023-09-19
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G02B13/00
- 本申请涉及光刻镜头技术领域,尤其涉及一种光刻镜头,包括:第一透镜组件和导光装置。第一透镜组件包括透镜座和至少一个光学透镜,光学透镜安装于透镜座。导光装置包括壳体和至少一个反射组件,反射组件安装于壳体。在光束的传播过程中通过第一透镜组件改变光束的出射光角,以使光束的出射光角符合预期要求。光束从入光口进入壳体,再经反射组件反射,使光束的路径呈折线形,从而在不减小光束的传播距离的情况下减小设备尺寸长度。由于光束的传播距离未减小,因此光束有足够的传播距离,以使从光刻镜头的照射区域的面积扩大至预期范围。如此,减小光刻镜头的尺寸,并且使光刻镜头的出射光的准直性以及照射区域面积在预期范围内。
- 光刻镜头
- [发明专利]一种用于直写光刻的LED光源-CN202310067658.3在审
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王华;陈志特;吴中海
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东莞锐视光电科技有限公司
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2023-01-30
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2023-06-23
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G03F7/20
- 本发明公开了一种用于直写光刻的LED光源,属于LED光源技术领域,本方案通过多个LED灯珠作为高能量的光源,配合第一透镜组和第二透镜组组成的几何光学系统,完成LED发射光线的收集、平行准直、汇聚,使其输出高密度光线,且水溶液吸收LED灯珠的热量,散热降温,绽开搅动机构则借助热量使活动莲座绽开,带动搅动杆搅动水溶液进行冷热交替,便于散热,气胀降温机构通过氯化铵粉末的受热分解,吸热降温,并使水蒸气冷凝成水,实现多次利用,减少蒸发量,且疏导换热机构传导冷气至浮动带囊内,吸收水溶液的热量,并通过柔性延伸囊体的延伸,使浮动带囊在磁铁块吸引下,模拟水草向上浮动,增大吸热接触面积,有效的增强了散热降温效果。
- 一种用于光刻led光源
- [发明专利]一种曝光机的光源-CN202310081526.6在审
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陈志特;王华;吴中海
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广东科视光学技术股份有限公司
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2023-02-03
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2023-06-06
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G03F7/20
- 本发明公开了一种曝光机的光源,属于曝光机光源技术领域,本方案通过聚光透镜对UVLED灯珠的灯光进行聚集,减少分散,同时借助温测散热机构对每个UVLED灯珠进行温度监测,并通过驱动伸缩挡膜和冷却装置对每个UVLED灯珠进行独立和相适应的散热,使散热更加充分全面,增强散热效果,保证UVLED灯珠的稳定工作,且延伸补光机构利用发光灯和补光荧光粉的光照配合,对边缘区域的UVLED灯珠分散的灯光进行补偿增强,使边缘区域的UVLED灯珠的发光保证稳定,增强光照曝光效果,并且扩散导热机构通过形变记忆膜体的相变带动多个导热丝分散,加快热量的传导和散热,提高散热效率,减少热量对补光的干扰,增强使用效果。
- 一种曝光光源
- [发明专利]一种DI光刻机的LED光学系统-CN202310147162.7有效
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陈志特;王华;吴中海
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广东科视光学技术股份有限公司
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2023-02-22
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2023-05-16
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G03F7/20
- 本发明公开了一种DI光刻机的LED光学系统,属于DI光刻机光源技术领域,本方案通过多个近紫外LED光源本体的独立或同步工作,配合聚光增强机构的光照反射和聚光透镜,实现将近紫外LED光源本体的光能量集中在一起,减少光资源的浪费,提高光源功率,满足不同功率需求的芯片加工,增强工作效果,且散吸吹尘机构通过吸收块对发散的光进行吸收,同时借助发散的光带动形变记忆弹簧收缩,带动挡板上下运动,挤压固定半球内部空气喷出,吹走近紫外LED光源本体表面的灰尘,保证其发光效果,并且导热降温机构利用制冷块的冷气与近紫外LED光源本体进行冷热交替,达到降温的效果,保证近紫外LED光源本体的稳定工作。
- 一种di光刻led光学系统
- [发明专利]一种曝光机光源光学模组-CN202310120269.2有效
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王华;陈志特;吴中海
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广东科视光学技术股份有限公司
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2023-02-16
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2023-05-02
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G03F7/20
- 本发明公开了一种曝光机光源光学模组,属于曝光机光源技术领域,本方案在UV-LED光源本体发光中,补偿聚光机构通过补光灯进行光补偿,配合聚光透镜的聚光,与UV-LED光源本体的光集中在一起,增强光照强度,同时伸缩调光机构利用光照产生的热量,带动多个反射膜凸起,配合光反射层对UV-LED光源本体分散的光进行调节和修正,朝向聚光透镜聚集在一起,提高发光功率,保证曝光机的稳定工作,且多重散热机构通过冷气扇的冷气散发和冷却液的传导吸收,实现风冷和液冷双重散热,大大提高了UV-LED光源本体和补光灯的散热效率,增强降温效果,保证UV-LED光源本体和补光灯的稳定发光。
- 一种曝光光源光学模组
- [实用新型]一种胶印光源-CN202222999097.4有效
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陈志特;王华;吴中海;王重桂
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广东科视光学技术股份有限公司
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2022-11-10
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2023-03-28
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B41F23/04
- 本实用新型涉及一种胶印光源,包括:光源固定座和发光件、聚光透镜;发光件和聚光透镜均固定在光源固定座内;且聚光透镜位于发光件用于发光的一侧;发光件用于发光的一侧和聚光透镜靠近发光件的一侧均设置为凹陷方向一致的弧形;发光件包括若干发光单体,聚光透镜包括一一对应若干发光单体设置的若干透镜单体,任一发光单体的中轴线均与对应的透镜单体的中轴线共线设置;若干透镜单体的焦点位于同一条线。本实用新型通过采用一一对应设置的若干发光单体和若干透镜单体,并使若干发光单体和若干透镜单体实现非平行设置,以将若干发光单体发出的光线汇聚于同一条线上,使光线可以有效汇集,以达到高效聚光、聚能,最终满足高速印刷的能量需求。
- 一种胶印光源
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