[发明专利]一种氮化铝覆铜陶瓷基板的制备方法有效
申请号: | 202210526380.7 | 申请日: | 2022-05-16 |
公开(公告)号: | CN114907135B | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
发明(设计)人: | 董明锋;贺贤汉;李炎;马敬伟;蔡俊;陆玉龙 | 申请(专利权)人: | 江苏富乐华半导体科技股份有限公司 |
主分类号: | C04B37/02 | 分类号: | C04B37/02 |
代理公司: | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人: | 张强 |
地址: | 224200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种氮化铝覆铜陶瓷基板的制备方法。包括以下步骤:第一步,对氮化铝瓷片和铜片进行清洗;第二步,对清洗好的氮化铝瓷片进行等离子体溅射;第三步,对预处理过的氮化铝瓷片进行预氧化处理;第四步,对清洗过的铜片进行热氧化处理;第五步,将预氧化后的氮化铝瓷片和热氧化后的铜片进行烧结。第五步中,预氧化后的氮化铝瓷片和热氧化后的铜片之间涂覆有改性焊膏,该改性焊膏中含有负载氧化镍‑纳米银颗粒的改性填料、SAC305焊膏,制备得到的覆铜基板具有优异的剥离强度、导热性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 氮化 铝覆铜 陶瓷 制备 方法 | ||
【主权项】:
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