[发明专利]一种微机电磁通门传感器的制备方法及其结构在审
| 申请号： | 202210518513.6 | 申请日： | 2022-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN114879103A | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 孙学成;陈强 | 申请（专利权）人： | 上海阿芮斯智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/04 | 分类号： | G01R33/04 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 方秀琴 |
| 地址： | 200801 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例所公开的一种微机电磁通门传感器的制备方法及其结构，包括获取衬底和待制备薄带，待制备薄带的材料为铁基或者钴基，在衬底上制备第一子线圈，将待制备薄带粘附于衬底上，得到待制备衬底，利用湿法腐蚀在待制备衬底上制备出磁力线聚集器组和磁芯，以及制备第二子线圈，使得第一子线圈与第二子线圈连接，得到微机电磁通门传感器。本申请利用湿法腐蚀工艺制备铁基薄带或者钴基薄带的磁力线聚集器组和磁芯，可以提高位置控制精准性，减少微组装误差。通过在衬底上增设磁力线聚集器组可以提高微机电磁通门传感器对磁场的聚集能力，对大磁场的磁冲击的抵御能力，对磁场的检测分辨率、稳定性和抗冲击性，扩展微机电磁通门传感器的应用场景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 电磁 传感器 制备 方法 及其 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海阿芮斯智能科技有限公司，未经上海阿芮斯智能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210518513.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种带有自密封功能的超长高强承载托辊装置
- 下一篇：用于适配器的扭矩测试设备
