[发明专利]一种微通道板准直器紫外平行光检测装置及检测方法在审
申请号: | 202210518269.3 | 申请日: | 2022-05-13 |
公开(公告)号: | CN115014713A | 公开(公告)日: | 2022-09-06 |
发明(设计)人: | 雒涛;徐玉朋;何会林;陈田祥;孙亮;李茂顺;杨生;张爱梅 | 申请(专利权)人: | 中国科学院高能物理研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01M11/04 |
代理公司: | 北京中建联合知识产权代理事务所(普通合伙) 11004 | 代理人: | 王灵灵 |
地址: | 100049 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种微通道板准直器紫外平行光检测装置及检测方法,包括紫外光源、载物台、准直器和紫外光功率计,所述准直器设在载物台上,所述紫外光源和紫外光功率计分别设在准直器的前后两侧,所述紫外光源、准直器和紫外光功率计位于同一轴线上。本发明利用紫外光替换X射线,避免了X射线难以产生平行光的问题,进而减小了设备尺寸;其次紫外线没有辐射,同样避免了因为X射线辐射导致的检测周期长的缺陷,也减少了人员暴露的危险;本发明结构简单、操作便捷、检测结果精度高,具有高安全性和低成本的优点,能够有效提升了作业效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 通道 板准直器 紫外 平行 检测 装置 方法 | ||
【主权项】:
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