[发明专利]一种微通道板准直器紫外平行光检测装置及检测方法

说明书

本发明公开了一种微通道板准直器紫外平行光检测装置及检测方法，包括紫外光源、载物台、准直器和紫外光功率计，所述准直器设在载物台上，所述紫外光源和紫外光功率计分别设在准直器的前后两侧，所述紫外光源、准直器和紫外光功率计位于同一轴线上。本发明利用紫外光替换X射线，避免了X射线难以产生平行光的问题，进而减小了设备尺寸；其次紫外线没有辐射，同样避免了因为X射线辐射导致的检测周期长的缺陷，也减少了人员暴露的危险；本发明结构简单、操作便捷、检测结果精度高，具有高安全性和低成本的优点，能够有效提升了作业效率。

技术领域

本发明涉及紫外光成像器件技术领域，具体涉及一种微通道板准直器紫外平行光检测装置及检测方法。

背景技术

毛细铅玻璃微通道板，是指布满微小通孔阵列的铅玻璃面板，一般用作X射线光学部件，又称为毛细管准直器。微通道板在进行应用前需要对每一块微通道板进行检测，保证其参数符合使用要求。

现有对微通道板的检测方法是采用束线检测装置，其利用X射线平行光以不同角度入射进行检测，但是上述检测方法存在较多的技术问题。首先是束线检测装置尺寸较大，为了保证X射线的平行度，束线检测装置的尺寸多在百米之上，体积大、成本高，无法大量建设，其次是X射线的强辐射性，在使用X射线进行检测时，需要对检测装置进行屏蔽，并且X射线的辐射特性和屏蔽装置会导致操作人员无法实现高效操作，并且由于长时间操作也使得操作人员更容易受到X射线的辐射。

本发明提供一种微通道板准直器紫外平行光检测装置及检测方法解决上述问题。

发明内容

本发明提供一种微通道板准直器紫外平行光检测装置及检测方法，解决现有采用X射线进行检测的技术问题。

本发明解决上述技术问题所采用的技术方案是：

一种微通道板准直器紫外平行光检测装置，包括紫外光源、载物台、准直器和紫外光功率计，所述准直器设在载物台上，所述紫外光源和紫外光功率计分别设在准直器的前后两侧，所述紫外光源、准直器和紫外光功率计位于同一轴线上；

所述紫外光源包括光源、单模光纤和光纤准直器，所述光源通过单模光纤与光纤准直器连接，所述光纤准直器发射平行紫外光。

进一步地，所述光源发射的紫外光波长范围为288-338nm。

进一步地，所述准直器的检测指标包括指向精度、开口面积比和视场，所述指向精度包括孔-孔平行度和孔-面垂直度。

进一步地，所述载物台具有水平旋转和竖向俯仰二维方向上的动作。

进一步地，所述光纤准直器与紫外光功率计的距离不小于150mm。

进一步地，所述光纤准直器发出的紫外光的发散角不大于9.7″。

优选的，所述光源为紫外LED光源。

一种微通道板准直器紫外平行光检测装置的检测方法，包括以下步骤：

S1，系统准备：根据测量精度的要求，调整紫外光源和紫外光功率计的相对位置，并保证位于同一轴线上；

S2，标定测量：在未放置准直器时，紫外光功率计接收紫外光源的光强，作为标定数据；

S3，放置准直器：在载物台上放置准直器，并调整紫外光源、准直器和紫外光功率计位于同一轴线上；

S4，X向测量：控制载物台沿X方向旋转，旋转步长为1′，在每个分度上通过紫外光功率计接收紫外光，得出到X方向的紫外光强-角度的关系；

S5，X向复位：转动载物台，将其旋转至X方向上紫外光强最大的角度；

S6，Y向测量：维持X方向角度不变，驱动二维转台沿着Y方向旋转,旋转步长为1’，在每个分度上通过紫外光功率计接收紫外光，得出到Y方向的紫外光强-角度的关系；

S7，处理数据：将Y方向的紫外光强-角度关系拟合出摇摆曲线。