[发明专利]基于光调声子等离子体共振分裂的太赫兹调制器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210514678.6 | 申请日： | 2022-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN114911079A | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 凌福日;肖永汭 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/00 | 分类号： | G02F1/00;C23C14/04;C23C14/14;C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 张晓博 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于太赫兹技术领域，公开了一种基于光调声子等离子体共振分裂的太赫兹调制器及其制备方法，包括石英基底和光刻在石英基底表面的若干金属单元，若干金属单元周期性排列；金属单元表面覆盖有一层半导体材料薄膜。本发明与金属结构中的电子相比，介质材料中的声子具有较低损耗，可以代替金属结构，相较于利用金属结构的等离子诱导透明的太赫兹调制器件，利用声子等离子体共振劈裂的太赫兹调制器件有着其特有的优势。光学声子通常比贵金属中的集体电子共振低三个数量级的寿命，表现出明显较低的损耗。声子在纳米结构表面频繁的散射可以显著地降低了热传导，可以成为一个额外的热耗散通道。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光调声子 等离子体 共振 分裂 赫兹 调制器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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