[发明专利]静电驱动MEMS梳齿结构、采用该结构的微镜及其制备方法有效
| 申请号： | 202210508327.4 | 申请日： | 2022-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN114594594B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 姜军委;张妮妮;刘青峰;马力;杨涛;彭磊;李欢欢;王芳 | 申请（专利权）人： | 西安知象光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;C23C14/22;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 弋才富 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市高新区丈八街*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 静电驱动MEMS梳齿结构、采用该结构的微镜及其制备方法；静电驱动MEMS梳齿结构，其梳齿表面具有绝缘层，相邻梳齿表面的绝缘层是同一种绝缘层或者不同绝缘层；采用静电驱动MEMS梳齿结构的微镜从下到上依次由基底、隔离层以及器件层构成；微镜的制作方法采用高温氧化、等离子增强化学气相沉积、低压化学气相沉积、常压化学气相沉积、物理沉积、原子层沉积或分步异质沉积法制作绝缘层；即在驱动梳齿表面和接地梳齿表面得到相同或者不同的绝缘层；当驱动梳齿与接地梳齿产生吸附，则二者表面的绝缘层接触，不形成短路，具有良好的绝缘效果；本发明的防止吸附损坏的静电驱动式MEMS微镜结构紧凑，工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 驱动 mems 梳齿 结构 采用 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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