[发明专利]一种晶圆检测设备有效
申请号: | 202210506886.1 | 申请日: | 2022-05-11 |
公开(公告)号: | CN114609148B | 公开(公告)日: | 2022-07-19 |
发明(设计)人: | 马铁中;李瑞青;李心怡;路膨 | 申请(专利权)人: | 昂坤视觉(北京)科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/95;G01N21/01 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 何世磊 |
地址: | 102200 北京市昌平区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种晶圆检测设备,包括相机,用于拍摄晶圆的光学图像;镜筒,连接于相机;镜组,设于镜筒内且用于在相机与晶圆之间形成图像传输光路;明场照明组件,连接于镜筒并用于在镜筒内部形成照射到晶圆上的明场照明光路;暗场照明组件,用于在镜筒外部形成照射到晶圆上的暗场照明光路;切换组件,设于镜筒内且切换组件能够移动至图像传输光路上以使相机能够拍摄明场照明组件照明时晶圆的光学图像,以及切换组件能够远离图像传输光路以使相机能够拍摄暗场照明组件照明时晶圆的光学图像。本申请提供的晶圆检测设备在只需使用一个镜筒就能够同时满足对晶圆的明场环境检测以及暗场环境检测,且结构简单、工作效率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 检测 设备 | ||
【主权项】:
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