[发明专利]一种晶圆检测设备

权利要求书

1.一种晶圆检测设备，用于对晶圆进行缺陷检测，其特征在于，所述晶圆检测设备包括：

相机，用于拍摄所述晶圆的光学图像；

镜筒，连接于所述相机；

镜组，设于所述镜筒内且用于在所述相机与所述晶圆之间形成图像传输光路；

明场照明组件，连接于所述镜筒并用于在所述镜筒内部形成照射到所述晶圆上的明场照明光路；

暗场照明组件，用于在所述镜筒外部形成照射到所述晶圆上的暗场照明光路；

切换组件，设于所述镜筒内且所述切换组件能够移动至所述图像传输光路上以使所述相机能够拍摄所述明场照明组件照明时所述晶圆的光学图像，以及，所述切换组件能够远离所述图像传输光路以使所述相机能够拍摄所述暗场照明组件照明时所述晶圆的光学图像；

所述镜筒内沿远离所述相机的方向依次设有第一容置空间、第二容置空间以及第三容置空间，所述镜组包括设于所述第一容置空间的筒镜以及设于所述第三容置空间的物镜，所述晶圆检测设备还包括连接于所述镜筒的切换室，所述切换室具有连通于所述第二容置空间的切换空间，所述切换组件安装于所述切换室中且能够移动至所述切换空间和所述第二容置空间；

所述明场照明组件具有用于供明场照明光路通过的明场照明空间，所述第二容置空间连通于所述明场照明空间且位于所述明场照明光路的出射方向，所述切换组件包括用于引导光路方向的分光元件，当所述切换组件置于所述第二容置空间时所述分光元件能够将所述明场照明光路引导至所述第三容置空间并出射至晶圆上；

所述晶圆检测设备还包括安装于所述切换室上的驱动组件，所述驱动组件连接于所述切换组件并用于驱动所述切换组件移动，所述切换组件包括第一安装座，所述第一安装座的中部开设有第一通孔，所述第一通孔的两侧壁上分别对称开设有第二通孔，所述第二通孔与所述明场照明光路的出射方向相对设置，所述分光元件设于所述第一通孔内。

2.根据权利要求1所述的晶圆检测设备，其特征在于：所述切换组件还包括设于所述第一安装座下方的第二安装座、活动设于所述第二安装座上的第一透镜、设于所述第一透镜底部的第三安装座、设于所述第三安装座内的第二透镜、以及设于所述第三安装座底部的底座，所述第三安装座的两侧分别设有一交叉滚子导轨，所述交叉滚子导轨用于所述第三安装座在所述底座上进行水平移动。

3.根据权利要求2所述的晶圆检测设备，其特征在于：所述切换组件还包括设于所述第一安装座上方的第四安装座、设于所述第四安装内的滤光片、以及设于所述第四安装座顶部的压板，所述分光元件、所述第一透镜、所述第二透镜以及所述滤光片同轴设置。

4.根据权利要求3所述的晶圆检测设备，其特征在于：所述切换组件还包括壳体以及调节面板，所述壳体罩设于所述第一安装座、所述第二安装座、所述第三安装座以及所述第四安装座的外围，所述壳体的两侧分别设有一转轴，每一所述转轴均与所述第一安装座的侧壁连接，所述调节面板上活动设有若干调节杆，所述调节杆与所述第一安装座的侧壁接触，所述调节杆和所述转轴用于调节所述分光元件的角度。

5.根据权利要求4所述的晶圆检测设备，其特征在于：所述驱动组件包括第一驱动电机、连接杆以及滑轨，所述第一驱动电机固设于所述切换室的外侧，所述连接杆的一端与所述第一驱动电机连接，另一端与所述调节面板连接，所述滑轨设于所述切换室的底部，所述壳体的两侧分别与所述滑轨连接，所述第一驱动电机用于通过所述连接杆驱动所述壳体在所述滑轨上进行水平移动。

6.根据权利要求5所述的晶圆检测设备，其特征在于：所述切换室的一侧壁上依次间隔设置有第一限位传感器、零点传感器以及第二限位传感器，所述壳体的一侧设有触发片，所述触发片用于在所述第一限位传感器与所述第二限位传感器之间进行移动，所述第一限位传感器、所述零点传感器以及所述第二限位传感器均与所述第一驱动电机电性连接。

7.根据权利要求1所述的晶圆检测设备，其特征在于：所述驱动组件包括第二驱动电机以及第三驱动电机，所述切换组件包括第一切换单元以及第二切换单元，所述第一切换单元与所述第二切换单元活动连接，所述第一切换单元包括所述分光元件，所述第二驱动电机与所述第一切换单元连接，所述第三驱动电机与所述第二切换单元连接，所述第二驱动电机用于驱动所述第一切换单元进行水平移动，所述第三驱动电机用于驱动所述第二切换单元进行水平移动。