专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种晶圆平面度测量平台运行误差补偿方法及系统-CN202310069671.2有效
  • 向小山;曲桓霆;马铁中 - 昂坤视觉(北京)科技有限公司
  • 2023-02-07 - 2023-05-19 - G01B21/30
  • 本发明公开了一种晶圆平面度测量平台运行误差补偿方法及系统,涉及半导体测试技术领域,该方法包括:将目标晶圆置于测量平台之上,对目标晶圆进行扫描,获取第一X向数据集与第一Y向数据集,以及第二X向数据集与第二Y向数据集;对第一X向数据集、第二X向数据集进行拟合,得到第一X向最佳二乘平面与第二X向最佳二乘平面,计算第一X向一维向量与第二X向一维向量,以得到X向跳动估计值;以相同方式得到Y向跳动估计值;根据所述X向跳动估计值与所述Y向跳动估计值。计算各个扫描点的综合跳动数据;根据综合跳动数据,得到运用于晶圆平面度测量的补偿数据。本发明旨在解决现有技术中对晶圆平面度测量进行补偿不够精准的技术问题。
  • 一种平面测量平台运行误差补偿方法系统
  • [发明专利]缺陷样本仿真方法、系统、计算机及可读存储介质-CN202211488455.3在审
  • 郭萌;冯希;马铁中 - 昂坤视觉(北京)科技有限公司
  • 2022-11-25 - 2023-04-04 - G06V10/774
  • 本发明提供了一种缺陷样本仿真方法、系统、计算机及可读存储介质,该方法包括获取样本图像,并对样本图像进行编码处理,以生成对应的编码特征图;识别出图像编码中的背景编码以及前景编码,并将前景编码替换为预设的内容编码,内容编码包含随机的缺陷特征;对背景编码以及内容编码分别进行解码处理,以分别生成对应的目标背景图以及目标缺陷图,并对目标背景图以及目标缺陷图进行拼接融合处理,以生成对应的缺陷样本图像。通过上述方式能够构建出多种不同类型的缺陷样本图像,同时还能根据实际情况的需要构建出对应的缺陷样本图像,并且还能够从缺陷图像中提取出需要的缺陷风格融合到任意的背景图像中,大幅提升了缺陷的多样性。
  • 缺陷样本仿真方法系统计算机可读存储介质
  • [发明专利]一种光学检测设备及系统-CN202211652714.1有效
  • 王林梓;周尧;郭青杨;马铁中 - 昂坤视觉(北京)科技有限公司
  • 2022-12-22 - 2023-03-14 - H01L21/66
  • 本发明提供一种光学检测设备及系统,涉及晶圆检测技术领域,光学检测设备包括主传输机构、及设于主传输机构上方的检测机构,检测机构包括多个检测单元,相邻两检测单元沿主传输机构的传输方向间隔设置、沿主传输机构的垂直方向交叉设置;检测单元包括倾斜设置的光学检测组件,相邻两光学检测组件的横向检测范围存在交集、以使检测阵列的横向检测范围能够完全覆盖设于主传输机构上的晶圆;当晶圆经过光学检测组件时,光学检测组件扫描晶圆以完成晶圆检测。上述光学检测设备及系统,通过设置多个检测单元组成检测阵列及将检测单元倾斜设置,提高了检测质量和精度,解决了现有技术中的晶圆的检测容易出现检测不充分及检测精度不足的技术问题。
  • 一种光学检测设备系统
  • [发明专利]双远心镜头-CN202211546451.6有效
  • 王林梓;马铁中;张立芳 - 昂坤视觉(北京)科技有限公司
  • 2022-12-05 - 2023-03-10 - G02B13/22
  • 本发明提供了一种双远心镜头,包括物镜和筒镜,以及置于所述物镜和所述筒镜之间的分光镜,所述物镜包括沿光轴方向从物侧面到成像面依次设置的第一前透镜组和第一后透镜组,所述第一前透镜组具有正光焦度,所述第一后透镜组具有负光焦度,所述筒镜包括沿光轴方向从物侧面到成像面依次设置的第二前透镜组和第二后透镜组,所述第二前透镜组具有负光焦度,所述第二后透镜组具有正光焦度,所述双远心镜头满足如下关系式:6.6fobj/ftube8,其中,fobj为物镜焦距,ftube为筒镜焦距。该双远心镜头可以清晰成像,且具有较大的视场角,满足拍摄需求。
  • 双远心镜头
  • [发明专利]一种晶圆光致发光缺陷成像系统及成像方法-CN202211482591.1有效
  • 陈菱婧;李瑞青;李心怡;马铁中 - 昂坤视觉(北京)科技有限公司
  • 2022-11-24 - 2023-03-07 - G01N21/95
  • 本发明提供了一种晶圆光致发光缺陷成像系统及成像方法,涉及半导体技术领域,该系统包括:物镜与筒镜;二向色镜,设于物镜与筒镜之间,且呈倾斜状设置;透镜单元,包括凸面相对的第一凸透镜与第二凸透镜,以及第一滤光片与光阑;成像元件,设于筒镜远离二向色镜的一端,成像元件与筒镜之间还设有第二滤光片;其中,预设绿光光源照射出的绿光经透镜单元照射至二向色镜朝向物镜的一侧,绿光反射并经物镜照射至目标晶圆,绿光照射至目标晶圆后激发产生红光,红光经物镜、二向色镜、筒镜与第二滤光片通过被成像元件采集,生成目标晶圆至少部分区域的表面图像。本发明能够实现在晶圆的转运过程中对晶圆进行成像以快速检测光致发光缺陷。
  • 一种圆光发光缺陷成像系统方法
  • [发明专利]晶圆翘曲度测量方法-CN202211264670.5有效
  • 黄文勇;倪旭东;颜华;马铁中 - 南昌昂坤半导体设备有限公司
  • 2022-10-17 - 2023-02-03 - G01B11/16
  • 本发明提供一种晶圆翘曲度测量方法,该方法包括:通过激光发射器沿预定方向照射于卫星盘上待测晶圆的预设测量位置,利用位置传感器获取待测晶圆所反射的激光光斑信息,并根据激光光斑信息得到对应的激光反射角度;控制卫星盘进行自转,并控制石墨托盘进行公转,以第一预设采样频率对位置传感器进行数据采样,得到待测晶圆的采样次数以及石墨托盘的采样次数;根据石墨托盘的采样次数计算出每次采样时石墨托盘的旋转角度,并基于石墨托盘的旋转角度和待测晶圆的采样次数计算出每次采样时待测晶圆的旋转角度,并计算出预设测量位置与待测晶圆中心的距离;根据每次采样时预设测量位置与待测晶圆中心的距离和激光反射角度计算出待测晶圆的翘曲度。
  • 晶圆翘曲度测量方法
  • [发明专利]侧边检测设备及其光学检测方法-CN202211418194.8有效
  • 陈菱婧;李心怡;李瑞青;余战武;马铁中 - 昂坤视觉(北京)科技有限公司
  • 2022-11-14 - 2023-02-03 - G01N21/95
  • 本发明提供了一种侧边检测设备及其光学检测方法,属于晶圆缺陷光学检测领域。所述侧边检测设备承载台、定位装置、面光源装置、托料装置、侧面检测装置;通过托料装置沿Z轴方向移动以使待测晶圆置于定位装置上被固定,根据面光源装置确定的定位装置旋转中心位置及待测晶圆中心位置,定位装置沿着X、Y轴方向移动以调整所承载待测晶圆位置,使得待测晶圆中心与定位装置旋转中心重合,转动待测晶圆调整其旋转标志位位置,确保承载着待测晶圆的定位装置驱动待测晶圆旋转一圈,以使侧面检测装置拍摄待测晶圆的侧边表面圆周长条图像以实现确定侧面崩角缺陷位置。通过本申请可便捷地实现针对晶圆侧面崩角缺陷的光学检测,提高晶圆光学检测质量。
  • 侧边检测设备及其光学方法
  • [发明专利]表面缺陷检测装置及其检测方法-CN202211343587.7在审
  • 王林梓;张立芳;佟杰;张强强;马铁中 - 昂坤视觉(北京)科技有限公司
  • 2022-10-31 - 2023-01-06 - G01N21/88
  • 本发明提供一种表面缺陷检测装置及其检测方法,装置用于检测晶圆的表面缺陷,该装置包括台架;活动载台,活动载台用于承载待检测晶圆;多个安装于台架上的镜头,各镜头的摄像端均朝向活动载台用于承载待检测晶圆的一侧;中控单元,中控单元电连接于活动载台和各镜头,中控单元用于根据各镜头的数量和分布情况将待检测晶圆划分出多个分别与各镜头对应的检测区,中控单元用于控制活动载台带动待检测晶圆移动以使各镜头分别同时对各检测区进行拍摄,以及中控单元用于获取各镜头拍摄的图像数据,使得镜头能够对待检测晶圆进行同步扫描,进而提升扫描速度、增加生产效率,解决了自动光学检测设备因单一镜头的限制而影响生产效率的问题。
  • 表面缺陷检测装置及其方法
  • [实用新型]一种反射镜装置-CN202222392553.9有效
  • 李心怡;李瑞青;陈菱婧;马铁中 - 北京昂坤半导体设备有限公司
  • 2022-09-08 - 2022-12-06 - G02B7/198
  • 本实用新型提供了一种反射镜装置,包括安装座组件,所述安装座组件包括安装基板、转轴固定座,所述转轴固定座之间转动连接有安装座,所述安装座上安装有反射镜;拍摄组件,所述拍摄组件包括安装板,所述安装板上连接有滑动板,所述滑动板上通过连接螺钉固定连接有镜头固定板,所述镜头固定板上固定有镜头,所述镜头远离所述反射镜的一端连接有相机;所述安装座底部设有斜块,所述斜块紧贴所述安装座远离所述反射镜的一侧,以使所述反射镜转动至与所述斜块顶面平行,本实用新型解决了现有技术中反射镜无法调整其反射角度,当晶圆在载台上位置发生改变时,相机无法完整拍摄晶圆图像的问题。
  • 一种反射装置
  • [发明专利]一种连续旋转偏振的检测装置-CN202211051598.8在审
  • 王林梓;张立芳;白宇;付欢;马铁中 - 昂坤视觉(北京)科技有限公司
  • 2022-08-30 - 2022-12-02 - G01N21/21
  • 本发明公开了一种连续旋转偏振的检测装置,其包括光源、第一反光部、第二反光部、拍摄部、起偏部和检偏部,由光源单次输出单色光,控制起偏部旋转至该单色光对应的偏振角度,通过起偏部第一角度偏振态的旋转调节,使得明场光路的出光角度发生改变,配合检偏部的第一角度偏振态预设,能够从多种角度对芯片进行检测,待检测芯片上获得不同的打光效果,并结合光源切换不同的颜色时拍摄获得的图样,经过对比分析,可以更全面的获得芯片在不同打光效果下凸显出的缺陷,以及不同检测面上存在的不同的缺陷,提高检测效果、检测精准度。
  • 一种连续旋转偏振检测装置
  • [实用新型]一种光源设备-CN202222392474.8有效
  • 李心怡;李瑞青;陈菱婧;马铁中 - 北京昂坤半导体设备有限公司
  • 2022-09-08 - 2022-11-29 - G03B15/03
  • 本实用新型提供了一种光源设备,用于拍摄晶圆图像时的照明,所述光源设备包括:照明组件,所述照明组件包括照明光源以及固定在所述照明光源上的光源固定板,所述照明光源上留有照明通孔;拍摄组件,安装于所述照明组件上方,所述拍摄组件包括反光板、固定在所述反光板上的反光板固定件,所述反光板上连接有反射镜,所述反射镜一侧依次对应设置有镜头以及相机,所述反光板上开设有晶圆图像通孔,所述晶圆图像通孔与所述照明通孔连通设置,以形成晶圆图像通道;导向轴,本实用新型解决了现有技术中光源在照亮晶圆时,容易出现晶圆照亮不均匀的情况,使得拍摄出的晶圆图像有较多阴影,影响晶圆图像的质量的问题。
  • 一种光源设备
  • [实用新型]一种反射率测量装置-CN202221911091.0有效
  • 李瑞青;黄文勇;焦宏达;王林梓;马铁中 - 南昌昂坤半导体设备有限公司
  • 2022-07-21 - 2022-11-29 - G01N21/55
  • 本实用新型提供一种反射率测量装置,包括架体及滑动式设于架体上的反射率测量组件,反射率测量组件包括反射率探头,及设于反射率探头及架体之间的手动测角仪,手动测角仪的两端分别设有第一转接板及第二转接板,反射率探头及架体分别通过第一转接板及第二转接板与手动测角仪的两端连接。本实用新型中的反射率测量装置,通过将反射率探头滑动式设于架体,便于对反射率探头及石墨盘之间的高度进行调节,进一步通过在架体与反射率探头之间设置手动测角仪,便于快速精确的对反射率探头的角度进行调节,提高调节效率。
  • 一种反射率测量装置

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