[发明专利]散列高架悬吊式运输机具轨道系统及其操作方法

摘要

本发明实施例是关于一种散列高架悬吊式运输机具轨道系统及其操作方法。本文揭露了一种自动化物料处理系统AMHS和一种操作所述AMHS的方法。在一方面，所述AMHS包含轨道网络和运载工具，所述运载工具经配置以固持样本载具，所述样本载具存放一或多个样本，其中所述运载工具经配置以借着所述轨道网络在半导体制造设施FAB内移动。所述AMHS还包含转台，所述转台连接到所述轨道网络并且经配置以围绕大体上垂直于所述转台的表面的轴线旋转。所述AMHS还包含散列轨道，所述散列轨道连接到所述转台并与所述转台重叠。所述散列轨道经配置以与所述转台一起围绕所述轴线旋转。