[发明专利]移动紧固件至晶圆载台的系统和方法在审
| 申请号： | 202210503803.3 | 申请日： | 2022-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN116197940A | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 陈与辰;黄志宏;吴政隆;朱延安;白峻荣 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J18/00 | 分类号： | B25J18/00;B23P19/06 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 王素琴 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本揭露涉及用于从晶圆载台的盒中连接和/或移除紧固件的系统和方法。该系统包括一个机器人手臂，在机器人手臂的远程配置有一个螺丝工具组件。螺丝工具组件包括配制为容纳紧固件的下部套筒。螺丝旋具设置在于螺丝旋具组件的上部套筒内，并提供用以旋转螺丝旋具的马达。在使用期间，螺丝工具组件被定位于紧固件上方，使得下部套筒围绕紧固件，并且螺丝旋具可与紧固件接合。螺丝旋具从晶圆载台的盒中旋下紧固件，而紧固件的头部被容纳于下部套筒中。 | ||
| 搜索关键词： | 移动 紧固 件至晶圆载台 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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