[发明专利]一种可实现流量控制的臭氧破坏装置及臭氧破坏方法有效

专利信息
申请号: 202210491025.0 申请日: 2022-05-07
公开(公告)号: CN114768528B 公开(公告)日: 2023-04-25
发明(设计)人: 艾凡凡;王振交;王超 申请(专利权)人: 苏州晶拓半导体科技有限公司
主分类号: B01D53/88 分类号: B01D53/88;B01D53/86;B01D53/66
代理公司: 南京科知维创知识产权代理有限责任公司 32270 代理人: 潘亚琳
地址: 215000 江苏省苏州市苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一种可实现流量控制的臭氧破坏装置及臭氧破坏方法,该臭氧破坏装置通过在第一匀流腔内设置第一匀流组件、在第二匀流腔内设置第二匀流组件,对废气进行两次匀流,保证了匀流效果;通过在第一反应腔外侧面上设置第一温度监测件、在排气管路上设置流量监测件和臭氧浓度监测件,实时监测反应腔局部温度、排出的净化气体的流量和排出的净化气体中的臭氧浓度,并以这三个变量为控制依据,控制第一驱动组件驱动第一流量调节组件动态调整反应腔内通过的气体流量,从而避免催化剂局部过热、保证催化效率,便于在避免催化剂局部过热、达到臭氧残余浓度标准、保证催化速度间取得平衡。
搜索关键词: 一种 实现 流量 控制 臭氧 破坏 装置 方法
【主权项】:
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