[发明专利]用于3D测量应用的MEMS可调VCSEL驱动的扫频光源OCT在审
申请号: | 202210487779.9 | 申请日: | 2017-03-24 |
公开(公告)号: | CN115096204A | 公开(公告)日: | 2022-09-23 |
发明(设计)人: | J·蒋;A·凯布尔 | 申请(专利权)人: | 统雷有限公司 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G01B9/02;G01B9/02091 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 何伟华 |
地址: | 美国新*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开了光学探头系统,其能够对工程物体进行高速、高精度和高分辨率3D数字化。工程物体的3D维度数据通过一种使用扫频光源并具有改进的速度、空间分辨率及深度范围的光学相干断层成像系统进行测量。还公开一种坐标测量器(CMM),其具备对工程物体实施高速、高分辨率及非接触测量的能力。传统CMM的触发式探头中的机械探针替换为具有可重新配置直径和长度的光探针。光探针中心到测量探头之间的距离调整为能快速适配待测量的物体的高度,以免除探头一维的运动并大大地提高效率。 | ||
搜索关键词: | 用于 测量 应用 mems 可调 vcsel 驱动 光源 oct | ||
【主权项】:
暂无信息
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