[发明专利]一种硫化锡/二硫化钼混合维度范德华异质结的制备方法在审

专利信息
申请号: 202210479949.9 申请日: 2022-05-05
公开(公告)号: CN114959635A 公开(公告)日: 2022-08-30
发明(设计)人: 舒海波;盛创伟;张铭松;张颖;黄杰 申请(专利权)人: 中国计量大学
主分类号: C23C16/30 分类号: C23C16/30;B01J27/051;C23C16/52;C23C16/56;H01L31/032;H01L31/18
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地址: 310018 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种硫化锡/二硫化钼混合维度范德华异质结的制备方法,其制备方案包括以下步骤:首先以氧化钼粉末和硫粉作为反应前驱体,氩气作为载气,在双温区管式炉中加热反应生长出单层二硫化钼;然后以硫化锡粉末和硫粉作为反应前驱体,氩气作为载气,以生长有二硫化钼的衬底作为生长基底,在双温区管式炉中加热反应生长出硫化锡/二硫化钼混合维度范德华异质结。本发明制备的异质结由一维硫化锡和二维单层的二硫化钼所构成,所述硫化锡纳米线外延生长在所述二硫化钼的表面;该异质结材料化学性质稳定,光谱响应范围宽,且具有II型的能带结构便于光生载流子分离,在光电器件领域具有广泛的应用前景。本发明所采用的分步化学气相沉积法制备所述硫化锡/二硫化钼混合维度范德华异质结具有晶体质量高、制备成本低、工艺简单、可重复高等优点。
搜索关键词: 一种 硫化 二硫化钼 混合 维度 范德华异质结 制备 方法
【主权项】:
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