[发明专利]一种硫化锡/二硫化钼混合维度范德华异质结的制备方法在审
申请号: | 202210479949.9 | 申请日: | 2022-05-05 |
公开(公告)号: | CN114959635A | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 舒海波;盛创伟;张铭松;张颖;黄杰 | 申请(专利权)人: | 中国计量大学 |
主分类号: | C23C16/30 | 分类号: | C23C16/30;B01J27/051;C23C16/52;C23C16/56;H01L31/032;H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310018 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种硫化锡/二硫化钼混合维度范德华异质结的制备方法,其制备方案包括以下步骤:首先以氧化钼粉末和硫粉作为反应前驱体,氩气作为载气,在双温区管式炉中加热反应生长出单层二硫化钼;然后以硫化锡粉末和硫粉作为反应前驱体,氩气作为载气,以生长有二硫化钼的衬底作为生长基底,在双温区管式炉中加热反应生长出硫化锡/二硫化钼混合维度范德华异质结。本发明制备的异质结由一维硫化锡和二维单层的二硫化钼所构成,所述硫化锡纳米线外延生长在所述二硫化钼的表面;该异质结材料化学性质稳定,光谱响应范围宽,且具有II型的能带结构便于光生载流子分离,在光电器件领域具有广泛的应用前景。本发明所采用的分步化学气相沉积法制备所述硫化锡/二硫化钼混合维度范德华异质结具有晶体质量高、制备成本低、工艺简单、可重复高等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 硫化 二硫化钼 混合 维度 范德华异质结 制备 方法 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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