[发明专利]芯片性能测试设备在审
| 申请号: | 202210474291.2 | 申请日: | 2022-04-29 |
| 公开(公告)号: | CN114879007A | 公开(公告)日: | 2022-08-09 |
| 发明(设计)人: | 林宜龙;刘飞;水清;林涛 | 申请(专利权)人: | 深圳格芯集成电路装备有限公司 |
| 主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R1/04 |
| 代理公司: | 深圳高智量知识产权代理有限公司 44851 | 代理人: | 姚启迪 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市坪山区龙田街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明实施例公开了一种芯片性能测试设备,其包括:机架上设有测试工位和分选工位;存料模组设置于机架上,用于存放盛装有整盘待测芯片的载盘;载盘转移模组,载盘转移模组可运动的设置于机架上;第一固定模组设置于测试工位内,用于固定盛装有整盘待测芯片的载盘,以使待测芯片与测试机完成测试工作;第二固定模组和分选模组分别设置于分选工位内,载盘转移模组用于将盛装有完成测试的已测芯片的载盘转移至第二固定模组。本方案能够实现装料载盘整盘芯片取料和放料操作,也即仅需一次取放料操作,便可完成对所有芯片同时测试的目的,单个测试周期不需要频繁多次往返取放料,取放料耗时短,测试效率得到大幅提升,显著提升了生产效率。 | ||
| 搜索关键词: | 芯片 性能 测试 设备 | ||
【主权项】:
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