[发明专利]一种显示面板的制造方法及显示面板在审
| 申请号： | 202210472583.2 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN114879394A | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 吴灵智;张忠阳;刘忠杰;任武峰;郭雷 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;G02F1/1362 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 孟霞 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种显示面板的制造方法及显示面板，显示面板的制造方法包括：在基底上形成薄膜晶体管的阵列结构及各膜层，包括形成薄膜晶体管的源极和漏极；在薄膜晶体管上形成第一无机层；在第一无机层上形成第一有机层；通过刻蚀气体刻蚀第一有机层和第一无机层至少形成第一通孔，第一通孔贯穿第一有机层和第一无机层，其中，刻蚀气体中不包括氧离子；在第一有机层上形成第一金属层，第一金属层图案化至少形成第一电极，第一电极通过第一通孔电连接源极和漏极的其中之一。本申请通过在刻蚀气体中去除氧离子，减小或避免氧离子横向刻蚀第一有机层，在形成第一通孔时，第一有机层的厚度不会减小，从而容易控制形成预设厚度的第一有机层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显示 面板 制造 方法 | ||
【主权项】：
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