[发明专利]一种显示面板的制造方法及显示面板

说明书

本申请实施例公开了一种显示面板的制造方法及显示面板，显示面板的制造方法包括：在基底上形成薄膜晶体管的阵列结构及各膜层，包括形成薄膜晶体管的源极和漏极；在薄膜晶体管上形成第一无机层；在第一无机层上形成第一有机层；通过刻蚀气体刻蚀第一有机层和第一无机层至少形成第一通孔，第一通孔贯穿第一有机层和第一无机层，其中，刻蚀气体中不包括氧离子；在第一有机层上形成第一金属层，第一金属层图案化至少形成第一电极，第一电极通过第一通孔电连接源极和漏极的其中之一。本申请通过在刻蚀气体中去除氧离子，减小或避免氧离子横向刻蚀第一有机层，在形成第一通孔时，第一有机层的厚度不会减小，从而容易控制形成预设厚度的第一有机层。

技术领域

本申请涉及显示领域，具体涉及一种显示面板的制造方法及显示面板。

背景技术

随着显示技术的发展，显示面板已经广泛用于人们生活中，例如手机、电脑等的显示屏幕。在显示面板的制造过程中，特别是COA(color filter onarray)型液晶显示面板的制造过程中，需要引入PFA(Polymer Film on Array)这样的有机膜层，PFA(后续成为有机平坦层)起到平坦阵列基板、降低寄生电容和提高开口率等的作用。

然而，在有机平坦层中刻蚀形成通孔时，刻蚀的气体会横向刻蚀有机平坦层，使得有机平坦层的厚度降低很多，因此难以控制形成预设厚度的有机平坦层，且有机平坦层被横向刻蚀掉很大厚度，造成了材料浪费，刻蚀时间过长，产能下降。

发明内容

本申请实施例提供了一种显示面板的制造方法及显示面板，可以解决难以控制形成预设厚度的有机平坦层的问题，以及所造成的材料浪费，刻蚀时间过长，产能下降的问题。

本申请实施例提供了一种显示面板的制造方法，包括：

提供一基底；

在所述基底上形成薄膜晶体管的阵列结构及各膜层，包括形成所述薄膜晶体管的源极和漏极；

在所述薄膜晶体管上形成第一无机层；

在所述第一无机层上形成第一有机层；

通过刻蚀气体刻蚀所述第一有机层和所述第一无机层至少形成第一通孔，所述第一通孔贯穿所述第一有机层和所述第一无机层，其中，所述刻蚀气体中不包括氧离子；

在所述第一有机层上形成第一金属层，所述第一金属层图案化至少形成第一电极，所述第一电极通过所述第一通孔电连接所述源极和所述漏极的其中之一。

可选地，在本申请的一些实施例中，通过刻蚀气体刻蚀所述第一有机层和所述第一无机层至少形成第一通孔时，所述刻蚀气体包括氟离子。

可选地，在本申请的一些实施例中，通过刻蚀气体刻蚀所述第一有机层和所述第一无机层至少形成第一通孔之后还包括：等离子处理所述第一有机层的远离所述基底的表面和所述第一通孔，所述等离子处理的等离子体中包括氢离子。

可选地，在本申请的一些实施例中，还包括位于所述在所述薄膜晶体管的阵列结构上形成第一无机层和所述在所述第一无机层上形成第一有机层之间的：在所述第一无机层上形成色阻层；

其中，所述在所述第一无机层上形成第一有机层时，所述第一有机层形成于所述色阻层上；

其中，所述通过刻蚀气体刻蚀所述第一有机层和所述第一无机层至少形成第一通孔时，所述第一通孔还贯穿所述色阻层。

可选地，在本申请的一些实施例中，所述在所述第一无机层上形成色阻层时包括：形成贯穿所述色阻层的第一开孔，所述第一开孔的直径大于所述第一通孔的直径；

其中，所述第一有机层形成于所述色阻层上时，所述第一有机层还填充于所述第一开孔内；